حامل رقاقة النقش ICP من Semicorex هو الحل الأمثل لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، تضمن شركات النقل لدينا التشكيلات الحرارية المتساوية ، وأنماط تدفق الغاز الرقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.
هل تبحث عن مورد موثوق به لحاملات الويفر لمعدات epitaxy؟ لا تنظر أبعد من Semicorex. تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP الخاص بنا خصيصًا لبيئات التنظيف الكيميائية القاسية ذات درجة الحرارة العالية. مع طلاء الكريستال SiC الناعم ، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل رقاقة النقش ICP.
معلمات حامل رقاقة النقش ICP
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حامل رقاقة النقش ICP
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب