ICP حامل رقاقة النقش

يعد حامل الرقاقة النقش ICP من Semicorex الحل الأمثل لعمليات معالجة الرقاقة ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. بفضل مقاومة الأكسدة المستقرة وارتفاع درجة الحرارة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية، تضمن ناقلاتنا مقاطع حرارية متساوية، وأنماط تدفق الغاز الصفائحي، وتمنع انتشار التلوث أو الشوائب.

إرسال استفسار

وصف المنتج

هل تبحث عن مورد موثوق به لحاملات الرقاقات لمعداتك الفوقية؟ لا تنظر أبعد من Semicorex. تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP الخاص بنا خصيصًا لبيئات التنظيف الكيميائية القاسية ذات درجات الحرارة العالية. مع طلاء كريستال SiC الناعم، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.
تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP الخاص بنا لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي، مما يضمن تساوي المظهر الحراري. وهذا يساعد على منع انتشار أي تلوث أو شوائب، مما يضمن نموًا فوقيًا عالي الجودة على شريحة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد حول حامل رقاقة النقش ICP الخاص بنا.

معلمات حامل رقاقة النقش ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم/سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300