منتجات

حامل بسكويت الويفر ICP

حامل بسكويت الويفر ICP

حامل رقاقة النقش ICP من Semicorex هو الحل الأمثل لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع مقاومة أكسدة ثابتة ودرجة حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية ، تضمن شركات النقل لدينا التشكيلات الحرارية المتساوية ، وأنماط تدفق الغاز الرقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب.

إرسال استفسار

وصف المنتج

هل تبحث عن مورد موثوق به لحاملات الويفر لمعدات epitaxy؟ لا تنظر أبعد من Semicorex. تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP الخاص بنا خصيصًا لبيئات التنظيف الكيميائية القاسية ذات درجة الحرارة العالية. مع طلاء الكريستال SiC الناعم ، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
تم تصميم حامل رقاقة النقش ICP لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل رقاقة النقش ICP.


معلمات حامل رقاقة النقش ICP

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC

خصائص SiC-CVD

هيكل بلوري

مرحلة FCC β

كثافة

ز / سم ³

3.21

صلابة

صلابة فيكرز

2500

حجم الحبوب

μ م

2 ~ 10

نقاء كيميائي

%

99.99995

السعة الحرارية

J · kg-1 · K-1

640

درجة حرارة التسامي

2700

قوة فيليكسورال

MPa (RT 4 نقاط)

415

معامل يونغ

المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة)

430

التمدد الحراري (CTE)

10-6 ك -1

4.5

توصيل حراري

(ث / م ك)

300


ميزات حامل رقاقة النقش ICP

- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح

مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية

درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.

مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.

مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.

- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي

- ضمان اتساق البروفايل الحراري

- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب





الكلمات الساخنة: ICP Etching Wafer Holder ، الصين ، مصنعون ، موردون ، مصنع ، مخصص ، بالجملة ، متقدم ، متين

الفئة ذات الصلة

إرسال استفسار

لا تتردد في تقديم استفسارك في النموذج أدناه. سوف نقوم بالرد عليك خلال 24 ساعة.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept