تم تصميم مكون ICP المطلي بـ SiC من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقاقات ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy وMOCVD. مع طلاء كريستال SiC الناعم، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا، ومقاومة كيميائية متينة.
اقرأ أكثرإرسال استفسار