تم تصميم مكون ICP المطلي بـ SiC من Semicorex خصيصًا لعمليات معالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية مثل epitaxy و MOCVD. مع طلاء الكريستال SiC الناعم ، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
يعتبر مكون ICP المطلي بـ SiC من Semicorex هو الخيار الأفضل لعمليات معالجة الرقائق التي تتطلب درجة حرارة عالية ومقاومة كيميائية. توفر ناقلاتنا مقاطع حرارية ، وأنماط تدفق غاز رقائقي ، وتمنع التلوث أو انتشار الشوائب بفضل بلورات SiC الدقيقة. مع طلاء الكريستال SiC الناعم ، توفر حاملاتنا مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري ، ومقاومة كيميائية متينة.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتميز مكون ICP المطلي بـ SiC بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مكون ICP المطلي بـ SiC.
معلمات مكون برنامج المقارنات الدولية المطلي بكربيد السيليكون
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مكون برنامج المقارنات الدولية المطلي ب SiC
- تجنب التقشير والتأكد من الطلاء على كل الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان اتساق البروفايل الحراري
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب