تم تصميم حلقات التركيز المتينة Semicorex لمعالجة أشباه الموصلات لتحمل البيئات القاسية لغرف حفر البلازما المستخدمة في معالجة أشباه الموصلات. حلقات التركيز الخاصة بنا مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء والمغطى بطبقة كثيفة من كربيد السيليكون (SiC) المقاومة للاهتراء. يتميز طلاء SiC بخصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة، فضلاً عن التوصيل الحراري الممتاز. نحن نطبق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لتحسين عمر خدمة حلقات التركيز لدينا.
اقرأ أكثرإرسال استفسار