Semicorex هي شركة رائدة مملوكة بشكل مستقل في تصنيع الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون، والجرافيت عالي النقاء المُصنع بدقة، مع التركيز على الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون، وسيراميك كربيد السيليكون، ومجالات MOCVP لتصنيع أشباه الموصلات. يتمتع Robot End Effector الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
Robot End Effector هي يد الروبوت التي تحرك رقائق أشباه الموصلات بين المواضع في معدات معالجة الرقائق والناقلات. يجب أن يكون Robot End Effector دقيقًا من حيث الأبعاد ومستقرًا حراريًا، مع وجود سطح أملس ومقاوم للتآكل للتعامل مع الرقائق بأمان دون إتلاف الأجهزة أو إنتاج تلوث جسيمي. يوفر Robot End Effector الخاص بنا عالي النقاء من كربيد السيليكون (SiC) مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا لسماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة، ومقاومة كيميائية متينة.
معلمات المؤثر النهائي للروبوت
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات المؤثر النهائي للروبوت
جرافيت عالي النقاء مطلي بـ SiC
مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.