Semicorex هي شركة رائدة مملوكة بشكل مستقل من الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون ، الجرافيت عالي النقاء المشكل بدقة مع التركيز على الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون ، سيراميك كربيد السيليكون ، مجالات MOCVP لتصنيع أشباه الموصلات. يتمتع Robot End Effector الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
Robot End Effector هي يد الروبوت التي تنقل رقائق أشباه الموصلات بين المواضع في معدات معالجة الرقائق والناقلات. يجب أن يكون مستجيب نهاية الروبوت دقيقًا من حيث الأبعاد ومستقرًا حراريًا ، مع وجود سطح أملس ومقاوم للتآكل للتعامل مع الرقاقات بأمان دون إتلاف الأجهزة أو إحداث تلوث بالجسيمات. يوفر Robot End Effector طلاء كربيد السيليكون عالي النقاء الخاص بنا مقاومة فائقة للحرارة ، وتوحيد حراري متسق لسمك ومقاومة طبقة epi المتسقة ، ومقاومة كيميائية دائمة.
معلمات مستجيب نهاية الروبوت
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات مستجيب نهاية الروبوت
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.