يعتبر RTP Graphite Carrier Plate من Semicorex هو الحل الأمثل لتطبيقات معالجة رقائق أشباه الموصلات ، بما في ذلك النمو الفوقي ومعالجة معالجة الرقائق. تم تصميم منتجنا لتقديم مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري ، مما يضمن تعرض مستشعرات epitaxy لبيئة الترسيب ، مع مقاومة عالية للحرارة والتآكل.
يتميز منتجنا بالجرافيت المطلي بـ SiC عالي النقاء ، والذي يوفر خصائص توزيع الحرارة الممتازة ، مما يضمن أن الحامل المطلي بـ SiC له سطح أملس ، وخالي من الشقوق والتشويش. صفيحة حامل الجرافيت RTP الخاصة بنا مطلية بدقة بكربيد السيليكون ، مما يضمن أن السطح أملس وخالي من أي عيوب. هذا المنتج متين للغاية ضد التنظيف الكيميائي القاسي وهو مصمم لضمان عدم حدوث تشققات وتفتيت.
نحن نقدم ميزة سعرية لا يستطيع منافسونا مضاهاتها ، ونحن ملتزمون بأن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
مع لوحة الناقل الجرافيت RTP ، يمكنك أن تطمئن إلى الأداء الممتاز ، ومقاومة الحرارة الفائقة ، والتوحيد الحراري. تم تصميم الحامل المطلي بـ SiC لتحمل درجات الحرارة المرتفعة ومقاومة عالية للتنظيف الكيميائي ، مما يضمن استمراره لسنوات عديدة. تم تصميم منتجنا أيضًا ليكون سهل الاستخدام ، مما يجعله مثاليًا للمستخدمين الجدد وذوي الخبرة.
في Semicorex ، نحن ملتزمون بتقديم منتجات وخدمات عالية الجودة لعملائنا. نحن نستخدم أفضل المواد فقط ، ومنتجاتنا مصممة لتلبية أعلى معايير الجودة والأداء. لدينا لوحة الناقل الجرافيت RTP ليست استثناء. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد حول كيف يمكننا مساعدتك في تلبية احتياجات معالجة رقاقة أشباه الموصلات.
معلمات لوحة الناقل الجرافيت RTP
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات لوحة الناقل الجرافيت RTP
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.