تم تصميم حامل طلاء Semicorex RTP/RTA SiC ليتحمل أصعب الظروف في بيئة الترسيب. بفضل مقاومته العالية للحرارة والتآكل، تم تصميم هذا المنتج لتوفير الأداء الأمثل للنمو الفوقي. يتميز الناقل المطلي بـ SiC بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة، مما يضمن أداءً موثوقًا به لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي.
إن حامل الطلاء RTP/RTA SiC الخاص بنا للنمو الفوقي MOCVD هو الحل الأمثل لمعالجة الرقاقات ومعالجة النمو الفوقي. مع السطح الأملس والمتانة العالية ضد التنظيف الكيميائي، يقدم هذا المنتج أداءً موثوقًا به في بيئات الترسيب القاسية.
تم تصميم مادة حامل الطلاء RTP/RTA SiC لمنع التشققات والتصفيح، بينما تضمن المقاومة الفائقة للحرارة والتجانس الحراري أداءً متسقًا للتنظيف الكيميائي القاسي لـ RTA أو RTP.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل الطلاء RTP/RTA SiC الخاص بنا
معلمات حامل طلاء RTP/RTA SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم/سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات حامل طلاء RTP/RTA SiC
جرافيت عالي النقاء مطلي بـ SiC
مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.