تم تصميم حامل طلاء SiC Semicorex RTP / RTA لتحمل أصعب الظروف لبيئة الترسيب. بفضل مقاومته العالية للحرارة والتآكل ، تم تصميم هذا المنتج لتوفير الأداء الأمثل للنمو فوق المحور. يتميز الناقل المطلي SiC بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة ، مما يضمن أداء موثوقًا لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي.
لدينا حامل طلاء RTP / RTA SiC للنمو فوق المحور MOCVD هو الحل الأمثل لمعالجة الرقاقة ومعالجة النمو فوق المحور. مع سطح أملس ومتانة عالية ضد التنظيف الكيميائي ، يوفر هذا المنتج أداءً موثوقًا به في بيئات الترسيب القاسية.
تم تصميم مادة حامل طلاء RTP / RTA لمنع التشققات والتشويش ، بينما تضمن المقاومة الحرارية الفائقة والتوحيد الحراري أداءً ثابتًا لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حامل طلاء RTP / RTA SiC
معلمات RTP / RTA SiC Coating Carrier
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حامل طلاء RTP / RTA SiC
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.