يوفر حامل طلاء Semicorex RTP SiC مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري ، مما يجعله الحل الأمثل لتطبيقات معالجة رقائق أشباه الموصلات. مع الجرافيت المطلي بالكربيد عالي الجودة ، تم تصميم هذا المنتج لتحمل أقسى بيئة الترسيب للنمو الفوقي. تضمن الموصلية الحرارية العالية وخصائص توزيع الحرارة الممتازة أداءً موثوقًا به لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي.
تم تصميم حاملة طلاء RTP SiC لتحمل أصعب ظروف بيئة الترسيب. بفضل مقاومتها العالية للحرارة والتآكل ، تخضع مستشعرات epitaxy لبيئة ترسيب مثالية للنمو فوق المحور. يضمن الطلاء الكريستالي الناعم SiC على الناقل سطحًا أملسًا ومتانة عالية ضد التنظيف الكيميائي ، بينما تم تصميم المواد لمنع التشققات والتشقق.
في Semicorex ، نركز على توفير حاملة طلاء RTP SiC عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة ، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن حاملة طلاء RTP SiC.
معلمات حامل طلاء RTP SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات حامل طلاء RTP SiC
الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.