تم تصميم المكونات المطلية بكربيد السيليكون المتقدمة وعالية النقاء من Semicorex لتحمل البيئات القاسية في عملية معالجة الرقاقات. يتمتع ظرف رقاقة أشباه الموصلات الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
إن ظرف رقاقة أشباه الموصلات المسطح للغاية من Semicorex هو عبارة عن طلاء عالي النقاء من SiC يستخدم في عملية معالجة الرقاقة. يتميز ظرف رقاقة أشباه الموصلات بواسطة معدات MOCVD للنمو المركب بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، والتي تتمتع باستقرار كبير في البيئة القاسية، وتحسين إدارة الإنتاجية لمعالجة رقائق أشباه الموصلات. تعمل تكوينات التلامس المنخفض مع السطح على تقليل مخاطر جزيئات الجانب الخلفي للتطبيقات الحساسة.
معلمات تشاك رقاقة أشباه الموصلات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجاباسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات ظرف رقاقة أشباه الموصلات
- طلاءات كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.
- قدرات مسطحة للغاية
- صلابة عالية
- التمدد الحراري المنخفض
- مقاومة التآكل القصوى