تم تصميم المكونات المطلية بكربيد السيليكون المتقدمة عالية النقاء من Semicorex لتحمل البيئات القاسية في عملية معالجة الرقائق. يتميز ظرف رقاقة أشباه الموصلات بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
ظرف رقاقة أشباه الموصلات شبه المسطح للغاية من Semicorex عبارة عن غلاف عالي النقاوة مصنوع من SiC يستخدم في عملية معالجة الرقاقة. رقاقة رقاقة أشباه الموصلات بواسطة معدات MOCVD تتميز النمو المركب بمقاومة عالية للحرارة والتآكل ، والتي تتمتع باستقرار كبير في البيئة القاسية ، وتحسن إدارة العائد لمعالجة رقاقة أشباه الموصلات. تكوينات ذات تلامس سطحي منخفض تقلل من مخاطر جزيئات الجانب الخلفي للتطبيقات الحساسة.
معلمات ظرف رقاقة أشباه الموصلات
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح ظرف رقاقة أشباه الموصلات
- طلاء كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.
- قدرات فائقة مسطحة
- صلابة عالية
- تمدد حراري منخفض
- مقاومة التآكل الشديدة