قارب كربيد السيليكون

تم تصنيع قوارب Semicorex SiC بدقة من سيراميك SiC عالي النقاء، وهي مادة مشهورة بثباتها الحراري الذي لا مثيل له، وقوتها الميكانيكية الاستثنائية، وخمولها الكيميائي الذي لا يتزعزع. هذه الصفات تجعله الخيار الأمثل للظروف القاسية لتصنيع أشباه الموصلات.

تتميز قوارب SiC بقوة ميكانيكية ومتانة لا مثيل لها، وذلك بسبب صلابة المادة ومقاومتها الاستثنائية للتآكل. وهذا يمكّنهم من تحمل الطبيعة الصعبة لبيئات إنتاج أشباه الموصلات عالية الإنتاجية دون الخضوع للتآكل التدريجي. على عكس المواد الأخرى، يحافظ SiC على سلامته الهيكلية بمرور الوقت، مما يقلل بشكل كبير من الحاجة إلى عمليات الاستبدال المتكررة ويقلل وقت التوقف عن العمل في عمليات التصنيع - مما يؤدي في النهاية إلى توفير كبير في التكاليف لمصنعي أشباه الموصلات.

The chemical inertness of SiC further solidifies its suitability for semiconductor processes by rendering it highly resistant to chemical attack from reactive gases and commonly used materials such as chlorine and fluorine. This robust resistance ensures that SiC boats do not contaminate wafers during processing, thereby upholding the purity and quality of the semiconductor devices being fabricated. For processes demanding an even higher level of chemical resistance, SiC Boats can be coated with an additional layer of SiC, furnishing an extra barrier against chemical attack and elevating the boat's surface finish to diminish the risk of particulate contamination.

يعد النقاء العالي لسيراميك SiC المستخدم في هذه القوارب أمرًا بالغ الأهمية، حيث يتطلب تصنيع أشباه الموصلات مواد ذات الحد الأدنى من الشوائب. حتى الكميات الضئيلة من الملوثات يمكن أن تضعف الخواص الكهربائية للرقائق وتؤدي إلى عيوب في الأجهزة النهائية. تم تصميم قوارب SiC من سيراميك SiC عالي النقاء لضمان عدم إدخال أي شوائب في بيئة العملية، حتى في درجات الحرارة المرتفعة والظروف التفاعلية النموذجية لتصنيع أشباه الموصلات. يعمل هذا النقاء على ترسيخ موثوقية قوارب SiC في خطوات العملية الحاسمة.

يعد توافق قوارب SiC مع معدات أشباه الموصلات المختلفة أمرًا بالغ الأهمية. يتيح تعدد استخدامات SiC تصنيعه بدقة ليناسب الأبعاد والتكوينات المحددة التي تتطلبها أنواع مختلفة من أفران ومفاعلات أشباه الموصلات، مما يجعلها مناسبة لمجموعة واسعة من التطبيقات، بدءًا من عمليات البحث والتطوير صغيرة النطاق وحتى خطوط الإنتاج واسعة النطاق. بالإضافة إلى ذلك، تساهم خصائص التوصيل الحراري وتبديد الحرارة الاستثنائية للمادة في التحكم بشكل أكثر كفاءة في درجة الحرارة أثناء المعالجة، مما يعزز أداء وإنتاجية أجهزة أشباه الموصلات.