كيب ناتئ المجاذيف

مجاذيف الكابولي siC siC هي مكونات عالية الأداء مصممة على وجه التحديد لمعالجة الويفر ونقل الرقاقة في معدات المعالجة الحرارية أشباه الموصلات (LPCVD ، PECVD ، الأكسدة ، وأفران الانتشار). توفر هذه المجاذيف الكابولي منصة للرقائق وشكلًا ضروريًا من الدعم الذي يضمن نقلًا مستقرًا وموثوقًا للرقائق الهشة من خلال عمليات درجات حرارة قاسية (غالبًا ما تتجاوز 1200 درجة مئوية). يتم تصنيع المجاذيف الكابولي من كربيد السيليكون عالية النقاء (SIC) والتي توفر المتانة الميكانيكية ، والاستقرار الحراري ، والخصائص المضادة للتآكل لبيئة تصنيع أشباه الموصلات.

كربيد السيليكون عبارة عن مادة سيراميكية فائقة السقوط ذات الموصلية الحرارية الممتازة ، والتمدد الحراري المنخفض ، والقدرة على الأداء بشكل موثوق في البيئات المعادية كيميائيًا. يمكن أن يساعد كربيد السيليكون في المجاذيف الكابولي في تقليل التزييف الحراري

 والحركة التي تحافظ على رقائق المسطح وفي وضع المعالجة الاسمية. يعد الاستقرار الحراري للرقاقة في سياق المجاذيف الكابولي أمرًا مهمًا لتقليل مشكلات تلوث الجسيمات والحركة الميكانيكية وخاصة عند إنتاج أجهزة عقدة متقدمة. يمكن أن تؤدي هذه المشكلات إلى فقدان العائد أو إعادة صياغة مكلفة واستبدال الرقاقات.

يحسن الشكل المتجانس من مجاذيف الكابولي SIC المتانة الميكانيكية والتوحيد الحراري مع القضاء على المفاصل ونقاط الضعف التي يمكن أن توجد عادة في المركبات. علاوة على ذلك ، يتم التحكم في النهاية السطحية للمجاذيف على وجه التحديد ، ومصقول عمومًا بجودة المرآة القريبة لتقليل توليد الجسيمات ومتوافقة مع فئة غرفة النظيف للغاية.

في عمليات الانتشار والأكسدة التي تنطوي على الأكسجين والبخار والغازات التفاعلية الأخرى ؛ المواد التقليدية قد تنتهي أو تشوه بمرور الوقت. تضمن الخاصية الخاملة الكيميائية المتأصلة في SIC أن المجاذيف لن تتفوق عليها ، أو تآكل وتدخل التلوث بالعملية بسبب استخدام المواد غير المستقرة ، مما يساهم في عملية أكثر استقرارًا ونتائج موثوقة.  لا تزال السلامة الهيكلية لمجاذيف الكابولي المستقرة على الرغم من ركوب الدراجات السريعة للتدفئة والتبريد. لذلك ، فإنها توفر عمر خدمة تشغيلية طويلة مع تقليل الصيانة بشكل كبير أو توقف بديل.

بالإضافة إلى ذلك ، تسمح انخفاض الكتلة والوزن الخفيف من مجاذيف SIC باستجابة حرارية أسرع ؛ وبالتالي السماح بزيادة أسرع من الأوقات الحرارية وأوقات التهدئة في زيادة الإنتاجية وكفاءة الطاقة ، فإن جميع المقاييس الرئيسية في المشهد التنافسي لتصنيع أشباه الموصلات.

يمكن توفير مجاذيف الكابولي في مجموعة متنوعة من التكوينات والأحجام ، مصممة وتصنيعها لاستيعاب مختلف تصميمات الأفران وأحجام الرقاقة التي تتراوح من 100 ملم إلى 300 مم وأكبر. يقدّر تكاملات المعدات الأصلية والمعدات تناسق وموثوقية مجاذيف SIC مع مرور الوقت ، للنشر في كل من العمليات الأمامية والخلفية.

يوفر Semicorex مجاذيف مميزة من ناتئ الكابولي مع تحكم ضيق في نقاء المواد والبنية المجهرية والتحمل الأبعاد. تتيح لنا قدرات العملية المتقدمة ، إلى جانب معرفتنا بالديناميات الحرارية شبه الموصل ، إنتاج مجاذيف مع هذه السمات التي تلبي أو تتجاوز معايير الصناعة من أجل الاستقرار والنظافة والمتانة. عندما يكون ذلك على حق وموثوق ، فإن semicorex هو المكان المناسب لمكونات SIC الجودة.