كذا قوارب السيراميك

قوارب السيراميك SIC SIC هي شركات النقل الحديثة المصممة خصيصًا لنقل رقائق أشباه الموصلات بأمان وتخزينها ومعالجتها في البيئات الأكثر تطلبًا من الناحية الكيميائية والحرارية. اعتمدت صناعة أشباه الموصلات بسرعة معايير أداء جديدة تطلبت قوارب السيراميك SIC بشكل موثوق وموثوق وخالي من التلوث على تحقيق المطالب غير المتسابحة والحرجة لعمليات تصنيع الويفر الحديثة.

الاستقرار الحراري القوي والقوة

السمة المميزة لقوارب السيراميك SIC هي استقرارها الحراري العالي للغاية. يمكن أن تتحمل قوارب السيراميك SIC درجة الحرارة تتجاوز 1600 درجة مئوية دون فقدان شكلها أو هيكلها أثناء عمليات ركوب الدراجات الحرارية العدوانية. نظرًا لمعامل التمدد الحراري منخفضًا ، فإن قوارب السيراميك SIC أقل عرضة للتشويه والتكسير ، مما يتيح التحمل الضيق وسلامة الويفر الشاملة أثناء التعامل في ظروف قاسية.

نقاء عالية ومقاومة كيميائية

يتم تصنيع قوارب السيراميك كذا من كربيد السيليكون عالية النقاء. كما أن قوارب السيراميك SIC مقاومة للغاية لتدهور المواد الكيميائية ، والتآكل ، وتآكل البلازما. تعني الطبيعة الخاملة لقوارب السيراميك SIC عمليات الغازات المسببة للتآكل ، والبيئات التفاعلية ، والظروف الحمضية ، لا تشكل أي تلوث من القارب أو لا شيء قابل للذوبان لإيذاء عملية العمل. لا يتيح سطح القوارب السيراميك غير المتلألئة أي توليد جسيمات أو ترشيح أيون ، وبالتالي لا يتعرض سطح الرقاقة للخطر بسبب الشوائب التي تعيق أداء الجهاز أو العائد.

الهندسة الدقيقة للتعامل مع الويفر الآمن والآمن

يتم تصنيع قوارب السيراميك SIC ضمن التحمل الضيق ، مما يسمح لها بالتعامل مع رقائق الأقطار المختلفة ، بما في ذلك 100 مم ، 150 مم ، 200 مم ، 300 ملم ، وأكثر من ذلك. يوفر التصميم الهيكلي للقوارب SIC تسطيحًا ممتازًا ، والتوازي ، وحجم الفتحة الموحدة للحفاظ على اتجاه LAPPER المناسب وحماية حواف الرقاقة عند الانتقال إلى عملية أو أداة أخرى. يمكن تصميم جميع قوارب SIC بأبعاد مخصصة لتتناسب مع مجموعة الأدوات أو تلبية أي مواصفات أتمتة.

مدى الحياة الطويل وأكثر كفاءة في التكلفة

يحل SIC محل المواد التقليدية (الكوارتز ، الألومينا) مع قوة ميكانيكية محسنة بشكل كبير ، صلابة الكسر ومقاومة الصدمة الحرارية. يترجم هذا المستوى من المتانة إلى عمر أطول قبل "الفشل" ، وبدائل أقل بكثير أثناء التشغيل ، وانخفاض التكلفة الإجمالية للملكية. إن الاتساق في الأداء من متانة SIC سيقلل من أوقات الانخفاض ويسرع الإنتاجية على خطوط تصنيع أشباه الموصلات.

تطبيقات مفتوحة في عمليات أشباه الموصلات

تستخدم قوارب السيراميك على نطاق واسع في عمليات أشباه الموصلات في الواجهة الأمامية مثل:

ترسب LPCVD و PECVD

الأكسدة الحرارية

أيون زرع

الصلب والانتشار

تنظيف الرقاقة والمعالجة الكيميائية

تحتوي مقابض السيراميك على تطبيقات معالجة متوافقة في كل من غرف عملية الغلاف الجوي والتفريغ ، مما يجعلها خيارًا مثاليًا للمسابك و FABs التي تتطلع إلى تقليل مخاطر التلوث وتقليلها مع تعزيز الإنتاجية.