ذراع روبوتية من السيراميك SiC

سيراميك كربيد السيليكونذراع آليةيتم استخدامه عبر العديد من عمليات تصنيع رقائق أشباه الموصلات، ويلعب دورًا مهمًا في ضمان جودة وكفاءة تصنيع الرقائق. يتم تركيبه بشكل شائع داخل وخارج غرف مختلف معدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، مثل آلات النقش، ومعدات الترسيب، وآلات الطباعة الحجرية، ومعدات التنظيف، والمشاركة بشكل مباشر في التعامل مع رقائق أشباه الموصلات وتحديد موضعها. 

تتلوث رقائق أشباه الموصلات بسهولة بالجسيمات، لذلك يتم تنفيذ عمليات التصنيع المتعلقة بها بشكل أساسي في معدات أشباه الموصلات النظيفة والفراغية. في التشغيل الفعلي، باعتباره المكون الأساسي لهذه المعدات، فإن الذراع الروبوتية الخزفية SiC تتلامس بشكل مباشر مع رقائق أشباه الموصلات ويجب أن تلبي أيضًا متطلبات النظافة العالية جدًا. إن الذراع الروبوتية المصنوعة من سيراميك SiC من Semicorex مصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون عالي الأداء متبوعًا بتشطيب دقيق للسطح ومعالجة تنظيف، والتي يمكن أن تلبي بدقة المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات للنظافة واستواء السطح. وهذا يساهم بشكل كبير في تقليل عيوب الرقاقة وتحسين إنتاجية الرقاقة.

سيراميك كربيد السيليكونتعتبر الذراع الآلية الخيار الأمثل لإجراءات المعالجة الحرارية مثل التلدين والأكسدة والانتشار. نظرًا للثبات الحراري الاستثنائي والمقاومة الفائقة للصدمات الحرارية لمواد كربيد السيليكون، فإن الذراع الروبوتية المصنوعة من السيراميك SiC قادرة على العمل بشكل يمكن الاعتماد عليه لفترات طويلة من الوقت في ظل ظروف درجات الحرارة العالية. يمكنها مقاومة تأثير التمدد الحراري والحفاظ على سلامتها الهيكلية تحت الضغط الحراري، وبالتالي ضمان الدقة المتسقة لتحديد موضع الرقاقة.

بفضل مقاومته القوية للغازات والسوائل المسببة للتآكل، يمكن للذراع الآلي المصنوع من السيراميك SiC الحفاظ على أدائه بشكل ثابت حتى عند تعرضه لأجواء عملية تآكل شديدة مثل النقش وترسيب الأغشية الرقيقة وزرع الأيونات. يعمل أداء مقاومة التآكل هذا على تحسين كفاءة تصنيع رقائق أشباه الموصلات من خلال تقليل مخاطر تلف المكونات المرتبطة بالتآكل بشكل فعال وتقليل الحاجة إلى عمليات الاستبدال والصيانة المتكررة.