أنبوب فرن نشر SiC

قوة انثناء عالية: يتميز أنبوب فرن الانتشار Semicorex SiC بقوة انثناء تتجاوز 200 ميجا باسكال، مما يضمن أداء ميكانيكي استثنائي وسلامة هيكلية في ظل ظروف الضغط العالية النموذجية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات.

مقاومة الأكسدة المتميزة: تتميز أنابيب فرن نشر SiC هذه بمقاومة أكسدة فائقة، وهي الأفضل بين جميع أنواع السيراميك غير المؤكسد. تضمن هذه الخاصية الاستقرار والأداء على المدى الطويل في البيئات ذات درجات الحرارة العالية، مما يقلل من خطر التدهور ويطيل العمر التشغيلي للأنابيب.

مقاومة ممتازة للتآكل: يوفر الخمول الكيميائي لأنبوب فرن نشر SiC مقاومة ممتازة للتآكل، مما يجعل هذه الأنابيب مثالية للاستخدام في البيئات الكيميائية القاسية التي غالبًا ما تواجهها معالجة أشباه الموصلات.

مقاومة عالية للتآكل: يتميز أنبوب فرن الانتشار SiC بمقاومة عالية للتآكل، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على ثبات الأبعاد وتقليل متطلبات الصيانة على مدار فترات طويلة من الاستخدام في الظروف الكاشطة.

معامل الاحتكاك المنخفض: يعمل معامل الاحتكاك المنخفض لأنبوب فرن نشر SiC على تقليل التآكل في كل من الأنابيب والرقائق، مما يضمن التشغيل السلس ويقلل من مخاطر التلوث أثناء معالجة أشباه الموصلات.

خصائص ميكانيكية فائقة في درجات الحرارة العالية: يُظهر أنبوب فرن الانتشار SiC أفضل الخصائص الميكانيكية في درجات الحرارة العالية بين المواد الخزفية المعروفة، بما في ذلك القوة المتميزة ومقاومة الزحف. وهذا يجعلها مناسبة بشكل خاص للتطبيقات التي تتطلب استقرارًا طويل الأمد في درجات حرارة مرتفعة.

مع طلاء CVD: يحقق طلاء Semicorex لترسيب البخار الكيميائي (CVD) SiC مستوى نقاء أكبر من 99.9995%، مع محتوى شوائب أقل من 5 جزء في المليون وشوائب معدنية ضارة أقل من 1 جزء في المليون. تضمن عملية الطلاء CVD أن تلبي الأنابيب المتطلبات الصارمة لضيق الفراغ البالغة 2-3Torr، وهي ضرورية لبيئات تصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة.

التطبيق في أفران الانتشار: تم تصميم أنابيب أفران الانتشار المصنوعة من كربيد السيليكون خصيصًا للاستخدام في أفران الانتشار، حيث تلعب دورًا حاسمًا في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل المنشطات والأكسدة. وتضمن خصائص المواد المتقدمة قدرتها على تحمل الظروف الصعبة لهذه العمليات، وبالتالي تعزيز كفاءة وموثوقية إنتاج أشباه الموصلات.