حلقة حافة كذا

يمثل حلقة حافة SIC SIC Semicorex ، المصنعة عن طريق ترسيب البخار الكيميائي (CVD) كربيد السيليكون (SIC) ، جانبًا مهمًا من تصنيع أشباه الموصلات ، ويلعب بشكل خاص دورًا مهمًا في عملية التصنيع في غرف حفر السبلزما. تقع حلقة الحافة حول الحافة الخارجية للتشاك الإلكتروستاتيكي (ESC) أثناء عملية حفر البلازما ولها علاقة جمالية ووظيفية مع البرك في العملية.

في تصنيع الدائرة المتكاملة لل أشيرات (IC) ، يعد التوزيع الموحد للبلازما أمرًا بالغ الأهمية ولكن عيوب حافة الويفر ضرورية للحفاظ على غلة عالية أثناء إنتاج طرق IB و IBF ، بالإضافة إلى العروض الكهربائية الموثوقة لل ICs الأخرى. تعتبر حلقة SIC Edge مهمة في إدارة موثوقية البلازما على حافة الرقاقة مع تثبيت أعمدة حدود الرقاقة في الغرفة دون مساواة الاثنين كمتغيرات متنافسة.

في حين يتم إجراء عملية حفر البلازما هذه على رقائق ، ستتعرض رقائق القصف من أيونات الطاقة العالية ، مع تساهم الغازات التفاعلية في نقل أنماط النقل بشكل اختياري. تخلق هذه الظروف عمليات كثافة عالية الطاقة يمكن أن تؤثر سلبًا على التوحيد وجودة حافة الويفر إذا لم تتم إدارتها بشكل صحيح. يمكن التعرف على حلقة الحافة مع سياق معالجة الرقاقة وبما أن مولد البلازما المكهربة يبدأ في تعريض الرقاقات ، فإن حلقة الحافة سوف تمتص الطاقة وإعادة توزيعها على حافة الغرفة وتمديد الكفاءة الفعالة للحقل الكهربائي من المولد إلى حافة ESC. يتم استخدام نهج الاستقرار هذا بطرق مختلفة ، بما في ذلك تقليل كمية تسرب البلازما والتشويه بالقرب من حافة حدود الرقاقة التي يمكن أن تؤدي إلى الإرهاق من الحافة.

من خلال الترويج لبيئة البلازما المتوازنة ، تساعد حلقة SIC Edge على تقليل تأثيرات التحميل الجزئي ، ومنع الإفراط في الحفر عند محيط الرقاقة ، وتوسيع عمر كل من مكونات الرقاقة والغرفة. يتيح ذلك أعلى عملية تكرار العملية ، وتقليل العيوب ، والتوحيد الأفضل على الإطلاق-المقاييس المفاصية في تصنيع أشباه الموصلات ذات الحجم الكبير.

تقترن الانقطاعات مع بعضها البعض ، مما يجعل تحسين العملية على حافة الويفر أكثر تحديا. على سبيل المثال ، قد تسبب الانقطاعات الكهربائية تشويه مورفولوجيا الغمد ، مما يتسبب في تغيير زاوية أيونات الحادث ، مما يؤثر على توحيد الحفر ؛ قد يؤثر عدم التمييز على حقل درجة الحرارة على معدل التفاعل الكيميائي ، مما يؤدي إلى انحراف معدل حفر الحافة عن معدل المنطقة المركزية. استجابة للتحديات المذكورة أعلاه ، عادة ما يتم إجراء تحسينات من جانبين: تحسين تصميم المعدات وتعديل معلمة العملية.

حلقة التركيز هي مكون رئيسي لتحسين توحيد حفر حافة الرقاقة. يتم تثبيته حول حافة الرقاقة لتوسيع منطقة توزيع البلازما وتحسين مورفولوجيا الغمد. في حالة عدم وجود حلقة تركيز ، يؤدي فرق الارتفاع بين حافة الويفر والقطب إلى ثني الغمد ، مما يتسبب في دخول الأيونات إلى منطقة الحفر بزاوية غير موحدة.

تشمل وظائف حلقة التركيز:

• ملء فرق الارتفاع بين حافة الويفر والقطب ، مما يجعل غمد تملق ، مما يضمن أن الأيونات تقصف سطح الويفر رأسياً ، وتجنب تشويه الحفر.

• تحسين التوحيد الحفر وتقليل المشكلات مثل الحفر المفرط للحفر أو ملف تعريف الحفر المائل.

مزايا المواد

يوفر استخدام CVD SIC كمواد أساسية عدة مزايا على المواد الخزفية أو المغلفة التقليدية. CVD SIC خامل كيميائيًا ومستقرًا حرارياً ومقاومة للغاية لتآكل البلازما ، حتى في الكيمياء القائمة على الفلور والكلور. تضمن قوته الميكانيكية الممتازة واستقرار الأبعاد عمر الخدمة الطويلة وتوليد الجسيمات المنخفضة في ظل ظروف ركوب الدراجات عالية الحرارة.

علاوة على ذلك ، فإن البنية المجهرية الفائقة والكثيفة لـ CVD SIC يقلل من خطر التلوث ، مما يجعله مثاليًا لبيئات المعالجة الفائقة التي يمكن أن تؤثر على الشوائب المتتبع. يتيح توافقه مع منصات ESC الحالية وهندسة الغرفة المخصصة تكاملًا سلسًا مع أدوات الحفر المتقدمة 200 ملم و 300 مم.