Semicorex هي شركة تصنيع وتوريد على نطاق واسع لمقبض الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون في الصين. نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات epitaxy. يتميز مستحضر SiC End Effector الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
يتكون مستجيب نهاية SiC Semicorex من الجرافيت طلاء كربيد السيليكون (SiC) ، يتم تطبيق الطلاء بواسطة طريقة CVD على درجات معينة من الجرافيت عالي الكثافة ، لذلك يمكن أن يعمل في فرن درجة حرارة عالية بأكثر من 3000 درجة مئوية في جو خامل ، 2200 درجة مئوية في الفراغ.
تم تصميم المستجيب النهائي SiC الخاص بنا لتحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مستجيب نهاية SiC الخاص بنا.
معلمات مستجيب نهاية SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح المستجيب النهائي SiC
- تجنب التقشير والتأكد من وجود طلاء على جميع الأسطح
مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية: مستقرة في درجات حرارة عالية تصل إلى 1600 درجة مئوية
درجة نقاء عالية: مصنوعة من ترسيب البخار الكيميائي CVD تحت ظروف الكلورة في درجات حرارة عالية.
مقاومة التآكل: صلابة عالية ، سطح كثيف وجزيئات دقيقة.
مقاومة التآكل: الكواشف الحمضية والقلوية والملح والعضوية.
- تحقيق أفضل نمط تدفق للغاز الرقائقي
- ضمان التوازن الحراري للملف الشخصي
- منع أي تلوث أو انتشار للشوائب