كربيد فين

Semicorex SiC Fin هو مكون عالي الأداء مصنوع منسيراميك كربيد السيليكون، وهو مصمم للاستخدام في أنظمة النقش والنقش لأشباه الموصلات. تم تصميم SiC Fin كقطعة دائرية على شكل قرص مع فتحات محفورة مختلفة بأقطار مختلفة، وهي مكون حاسم لمواد نقش التدفق وإدارة عادم الغازات أو النفايات السائلة أثناء معالجة درجات الحرارة العالية أو البلازما. نظرًا لأدائها الهيكلي، ومقاومتها الممتازة للتآكل، وثباتها الحراري العالي، فإن SiC Fin أمر بالغ الأهمية للتصنيع المتقدم لأشباه الموصلات.

يتم تصنيع SiC Fin من درجة نقاء عاليةكربيد السيليكونمسحوق باستخدام عمليات التشكيل والتلبيد المتقدمة. وبالتالي، فهو يتمتع بقوة ميكانيكية ممتازة وثبات في الظروف الحرارية والكيميائية العالية. تسمح الخصائص الفيزيائية الفريدة لكربيد السيليكون مثل الصلابة العالية والتمدد الحراري المنخفض والخمول الكيميائي الممتاز للزعنفة بأن تكون مكونًا هيكليًا في بيئات البلازما ذات درجة الحرارة العالية أو الغاز التفاعلي، والتي تتميز بعمليات EPI والحفر.

يسمح هيكل قرص المكون، المكتمل بفتحات محفورة بدقة، بالتحكم في تدفق الغازات والسوائل عبر غرف المعالجة. اعتمادًا على التطبيق، يمكن تكوين الثقوب لإدارة تدفق المنتجات الثانوية أو الصرف من أجل بيئة نظيفة ومستقرة أثناء عملية معالجة الرقاقة. في التطبيقات الفوقية، على سبيل المثال، يمكن لـ SiC Fin أن تساعد في توجيه غازات المعالجة أو تدفقات المكثفات، وبالتالي تعزيز تجانس الفيلم وتقليل تلوث الجسيمات. وفي أدوات الحفر، يكون فعالاً في الإزالة الآمنة والفعالة للأنواع التفاعلية والمنتجات الثانوية السائلة التي تحمي مكونات الغرفة الضعيفة من التحلل الكيميائي.

يتم تصنيع كل زعانف Semicorex SiC بتفاوتات شديدة للغاية ومصقولة لتوفير تسطيح سطحي ممتاز ودقة الأبعاد. تضمن دقة التصنيع هذه أداءً موثوقًا عند دمجها في أنظمة معقدة والحفاظ على وظائف متسقة لفترات طويلة من التشغيل. تتوافق SiC Fin مع جميع تصميمات المفاعلات ويمكن تصنيعها خصيصًا من حيث القطر والسمك ونمط الفتحة لتلبية احتياجات العملاء. يمكن أن تقدم Semicorex تصميمات مخصصة لتحسين الأداء لمتغيرات العملية مثل معدل التدفق وهندسة الغرفة ودرجة الحرارة.

بالإضافة إلى وظائفها المتعددة الاستخدامات، تتمتع زعنفة SiC بمتانة استثنائية وطول العمر مقارنةً بالمواد الأخرى. إنه مقاوم للغاية للأكسدة، وتآكل البلازما، والتآكل الكيميائي، مما يقلل من تكرار استبدال الأجزاء ويقلل وقت تعطل النظام. علاوة على ذلك، تسمح التوصيل الحراري لكربيد السيليكون بقدرة تبديد الحرارة لإدارة التدرجات الحرارية في الجهاز، وتجنب التشويه أو التشقق غير المرغوب فيه أثناء دورة درجة الحرارة السريعة.

يستخدم Semicorex المتقدمةالسيراميكقدرات المعالجة وطلاء CVD لتوفير أعلى مستويات النقاء والاتساق لـ SiC Fin المنتجة. يتم أيضًا فحص كل زعانف SiC للتأكد من كثافتها، وتوحيد البنية الدقيقة، وكمال السطح للتأكد من أنها تلبي المتطلبات الصعبة لصناعة أشباه الموصلات. وينتج عن ذلك مكون يتمتع بالسلامة الميكانيكية والمتانة من أجل تشغيل مستقر وطويل الأمد في البيئات القاسية.

بالإضافة إلى وظائفها المتعددة الاستخدامات، تتمتع زعنفة SiC بمتانة استثنائية وطول العمر مقارنةً بالمواد الأخرى. إنه مقاوم للغاية للأكسدة، وتآكل البلازما، والتآكل الكيميائي، مما يقلل من تكرار استبدال الأجزاء ويقلل وقت تعطل النظام. علاوة على ذلك، تسمح التوصيل الحراري لكربيد السيليكون بقدرة تبديد الحرارة لإدارة التدرجات الحرارية في الجهاز، وتجنب التشويه أو التشقق غير المرغوب فيه أثناء دورة درجة الحرارة السريعة.