حلقات التركيز SiC

تم تصميم حلقات التركيز SiC المتقدمة وعالية النقاء من Semicorex لتحمل البيئات القاسية في غرف حفر البلازما (أو الحفر الجاف). نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات الفوقية. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

توفر Semicorex حلقات التركيز SiC مستقرة حقًا لـ RTA أو RTP أو التنظيف الكيميائي القاسي. تم تصميم حلقات التركيز SiC أو حلقات الحافة لتحسين تجانس الحفر حول حافة الرقاقة أو محيطها. قلل التلوث والصيانة غير المجدولة باستخدام مكونات عالية النقاء تم تصميمها لتتحمل قسوة معالجة حفر البلازما. حلقات التركيز SiC الخاصة بنا مع طلاء SiC عبارة عن طلاء كثيف ومقاوم للتآكل من كربيد السيليكون (SiC). يتميز بخصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز. نقوم بتطبيق SiC في طبقات رقيقة على الجرافيت باستخدام عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

معلمات حلقات التركيز SiC

المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC
خصائص SiC-CVD
الهيكل البلوري	المرحلة FCC β
كثافة	جم / سم ³	3.21
صلابة	صلابة فيكرز	2500
حجم الحبوب	ميكرومتر	2~10
النقاء الكيميائي	%	99.99995
القدرة الحرارية	ي كغ-1 ك-1	640
درجة حرارة التسامي	℃	2700
قوة العطف	ميجا باسكال (RT 4 نقاط)	415
معامل يونغ	المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية)	430
التمدد الحراري (C.T.E)	10-6 ك-1	4.5
الموصلية الحرارية	(ث / م ك)	300