أنابيب الفرن الأفقية SIC

أنابيب الفرن الأفقية SICهي الناقلات التي لا غنى عنها لنظام الفرن، وتقع عادة في منطقة التسخين الأساسية لتصنيع أشباه الموصلات أو معدات إنتاج الخلايا الكهروضوئية. إنها تعمل مع عناصر التسخين، وأنظمة التحكم في درجة الحرارة، وأنظمة التحكم في الغاز، وقوارب الويفر لتشكيل نظام الفرن الكامل.

في التشغيل الفعلي، يتم تسخين أنابيب الفرن الأفقية SIC بواسطة عناصر التسخين، والتي تنقل الحرارة بشكل موحد إلى أنابيب الفرن بمساعدة التوصيل الحراري الممتاز لمواد كربيد السيليكون. وفي الوقت نفسه، يتم إدخال غازات عملية محددة (مثل الأكسجين والنيتروجين وغازات المنشطات، وما إلى ذلك) في أنبوب الفرن. تحت تأثير جو الغاز ذو درجة الحرارة العالية، ستخضع المواد شبه الموصلة داخل الفرن لتفاعلات كيميائية أو تغيرات فيزيائية، مما يؤدي في النهاية إلى تعديل المواد أو التطعيم أو التحسين الهيكلي.

توفر أنابيب الفرن الأفقية SIC من Semicorex قوة وصلابة ميكانيكية ملحوظة، والتي تلعب دورًا مهمًا في التطبيقات التي تتضمن معالجة ومعالجة كميات كبيرة من الرقاقات. أنابيب الفرن الأفقية SIC قادرة على توفير دعم مستقر للرقائق في عمليات المعالجة الحرارية مثل الأكسدة، والانتشار، والتليين، مما يضمن أن تكون الرقائق في الموضع الصحيح أثناء المعالجة بدرجة الحرارة العالية وتجنب الإزاحة أو التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري.

يتم تصنيع أنابيب الفرن الأفقي SIC الخاصة بشركة Semicorex من مواد عالية النقاءسيراميك كربيد السيليكونمع محتوى شوائب منخفض للغاية، يليه ترسب الأمراض القلبية الوعائيةطلاء كربيد السيليكونعلى سطحها. تضيف طريقة التصنيع هذه طبقة واقية إلى أنابيب الفرن الأفقية SIC، والتي تمكنها من العمل بثبات في البيئات شديدة الحرارة والتآكل مع مرور الوقت. يعمل أداء مقاومة التآكل لأنابيب الفرن الأفقية SIC على تحسين كفاءة تصنيع رقائق أشباه الموصلات من خلال تقليل مخاطر تلف المكونات المرتبطة بالتآكل بشكل فعال وتقليل الحاجة إلى عمليات الاستبدال والصيانة المتكررة.

مع العديد من الخصائص المتفوقة، يتم استخدام أنابيب الفرن الأفقي SIC من Semicorex على نطاق واسع في العديد من عمليات المعالجة ذات درجة الحرارة العالية في الصناعات الكهروضوئية وأشباه الموصلات مثل عملية الأكسدة، وعملية الانتشار، وعملية التلدين، وترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط.