أنابيب كذا

أنابيب siC semicorex هي أجزاء من السيراميك لأنظمة فرن أشباه الموصلات.  لديهم خصائص فريدة تشمل انتقالًا حراريًا عاليًا ومقاومة عالية درجة الحرارة والكيميائية المطلوبة في تطبيقات شبه الموصلات حيث توجد ظروف بيئية عالية الحرارة ومتوقعة في درجات الحرارة المتوقعة وحيث تكون الخصائص مرغوبة - المتانة ، كفاءة الطاقة ، وظروف عملية فريدة من نوعها - والتي تسمح بالاستخدامات الاقتصادية في بيئات التصنيع المتطورة.

تستخدم أنابيب SIC SIC SIMICOREX حبة غرامة عاليةكربيد السيليكونيتم تصنيعها لتكون لها استقرار ميكانيكي استثنائي درجات الحرارة العالية نتيجة لطرق وتقنيات التلبيد المتقدمة وإعادة التبلور. يؤدي تمكين SIC عالي الأداء إلى قوة ميكانيكية استثنائية والاحتفاظ بالاستقرار الحراري في درجات حرارة عالية التشغيل. SIC لديه صلابة استثنائية التي تخفف من ارتداء ، أو تشوه محتمل.  بالإضافة إلى ذلك ، فإن السمات المرتبطة بخصائص SIC هي ذات كفاءة منخفضة للوقود المنخفض للتوسع الحراري مفيدة لأنها تحد من الإجهاد الحراري حيث ستكون هناك متطلبات لركوب هذه المادة بين حرارة التشغيل المرتفعة والمنخفضة. في كل هذه الاعتبارات ، يكون لديهم فائدة خاصة للتطبيقات المثالية في أفران الانتشار ، وأفران الأكسدة وأنظمة LPCVD/PECVD للحفاظ على أقصى قدر من ظروف العملية المستقرة ، أو تحد من العيوب التي تعتبر أيضًا عيوبًا متعلقة بالسكان أو المواد ذات الاستقرار العالي ، وحتى ظروف العملية.

فائدة أخرى مهمة لأنابيب SIC هي ملفات تعريف التوصيل الحراري العالي في ظروف محددة وتصميمات الأفران المعمول بها لإنتاج معدلات عالية من التوصيل الموصل ، والأهم من ذلك ، توزيع درجة حرارة متساوية وثابتة في جميع أنحاء العملية.  يسمح هذا السلوك الموثوق بالتعرض لتوزيعات درجات الحرارة شبه المساواة في فترات زمنية معقولة ، بالإضافة إلى الحد من التدرجات الحرارية للتخفيف من رقائق مشوهة و/أو انتقادات مسطحة مع تحسين ظروف ترسب الأفلام.

الاستقرار الكيميائي والمقاومة هو عامل أداء مهم آخر.  في عمليات أشباه الموصلات ، يتعرض أنبوب الفرن لتأثير الغازات عالية التفاعل بما في ذلك الأكسجين والهيدروجين والأمونيا وجميع الهالوجينات ، والتي يمكن أن تحط من المواد التقليدية بطريقة سريعة. يحميها البنية المجهرية الكثيفة وغير المسامية ، إلى جانب الطبيعة الخاملة كيميائيًا لـ SIC ، من الأكسدة والتآكل مع تقديم الأداء التشغيلي والميكانيكي في بيئة العملية القصوى.  تساعدهم متانة أفران SIC على الحفاظ على سلامة الشكل والدقة الأبعاد على مدار فترات زمنية طويلة ، وهو أمر مهم للتحكم في العملية واستقرارها.

يمكن تصنيع أنابيب SIC في مجموعة واسعة من الأحجام وسمك الجدار ، على شكل هندسي لتناسب تصميمات الفرن واحتياجات العملية.  يتم الحفاظ على خصائص الآلات الدقيقة الدقيقة أيضًا أثناء تصميم وإنتاج أنابيب SIC بحيث يمكن أن تكون التحمل التشغيلي ضيقة ، مع أسطح داخلية ناعمة وتركيز ممتاز للحفاظ على توازن بين تدفق الغاز الصفحي والملفات الحرارية الموحدة. يمكن توفير تلميع السطح والطلاء كخيارات علاج من شأنها تعزيز الأداء عن طريق تقليل توليد الجسيمات وتحسين مقاومة التآكل.

تتمتع أنابيب SIC بمزايا تشغيلية وتكاليف واضحة مقارنة بمواد بديلة مثل أنابيب الكوارتز أو الألومينا.  قد تكون التكلفة الأولية لمكونات SIC أعلى قليلاً ، ولكن عمر المنتج ، وتخفيض متطلبات الكسر ، وخفض متطلبات الصيانة في التكلفة الإجمالية للملكية التي هي تكاليف أقل من المواد والأنابيب البديلة.

للاختتام ، semicorexكذاتعد الأنابيب هي الخيار الأفضل لتطبيقات فرن أشباه الموصلات ، حيث توفر أفضل أداء حراري ، وقوة ميكانيكية ، ومقاومة كيميائية ، وموثوقية لبيئات الإنتاج المتطلب. تعمل هذه المادة على تحسين استقرار العملية وتساعد في وفورات في التكاليف والكفاءة على الطريق (أي انخفاض استهلاك الطاقة). أنابيب SIC هي مادة أساسية لتصنيع أشباه الموصلات الحديثة.