أنبوب عملية كربيد السيليكون

أنبوب معالجة Semicorex SiC (كربيد السيليكون) هو مكون متخصص يستخدم في عمليات المعالجة الحرارية للرقائق، خاصة في التطبيقات التي تتطلب درجات حرارة عالية، أو أجواء مسببة للتآكل، أو كليهما. إنه مصمم لتوفير بيئة وقائية وخاضعة للرقابة لرقائق أشباه الموصلات أثناء المعالجة الحرارية أو المعالجة الحرارية.

تم تصميم أنبوب العملية بعناية لإنشاء غرفة مغلقة حيث يتم وضع الرقائق للمعالجة الحرارية. إنه بمثابة حاجز، يمنع الاتصال المباشر للرقائق مع البيئة المحيطة. يعد هذا العزل أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على نقاء جو المعالجة وحماية الرقائق من التلوث.

داخل أنبوب عملية SiC، تتم المعالجة الحرارية للرقاقة. يمكن أن يشمل ذلك عمليات مختلفة مثل التلدين، والأكسدة، والانتشار، وغيرها من المعالجات الحرارية المطلوبة لتعديل خصائص مادة الرقاقة. تساعد خصائص الأنبوب، مثل موصليته الحرارية العالية ومقاومته للهجوم الكيميائي، على ضمان التوزيع الموحد لدرجة الحرارة وحماية الرقائق.

تعتبر أنابيب عملية SiC مكونات مهمة في عمليات المعالجة الحرارية للرقاقة. إن مقاومتها لدرجات الحرارة العالية، والخمول الكيميائي، والقدرة على خلق بيئة خاضعة للرقابة تضمن التنفيذ الناجح لخطوات المعالجة الحرارية، مما يؤدي إلى إنتاج رقائق أشباه الموصلات عالية الجودة.