كذا روبوت الأيدي

تعتبر الأيدي الروبوت Symicorex SIC هي الأحدث في الآثار النهائية المصممة لتطبيقات نقل رقاقة الروبوتات في مجال تصنيع أشباه الموصلات. مصنوعًا من مواد عالية الأداء ، قمنا بتصميم هذه الأيدي الروبوتية باستخدام سيراميك كربيد السيليكون (SIC) لتوفير الحد الأقصى من الجدولة الحرارية ، والاستقرار الكيميائي ، والقوة الميكانيكية لبيئة قاسية بشكل متزايد لتصنيع الويفر أو المناولة.

منسقاتنا الرئيسية في أيدي روبوت SIC المتقدمة الخاصة بناكربيد السيليكونالمعروف عن صلابة عالية (Mohs 9) ، الموصلية الحرارية العالية ، ومقاومة التآكل. على عكس المواد التقليدية مثل الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ ، فإن SIC متوافق مع بيئة المعالجة القاسية في غرف نظافة أشباه الموصلات بما في ذلك درجات الحرارة المرتفعة المعالجة والغازات التفاعلية. نحن نقدم المتانة على المدى الطويل وتقليل التلوث ، بما يتوافق مع النقاء الصارم المطلوب لتصنيع الويفر.

تستخدم معدات أشباه الموصلات التي تحتوي على أيدي روبوت SIC شفط الضغط السلبي للحصول على الرقاقة ، أي أن رقاقة أشباه الموصلات يتم امتصاصها على الكوارتز أو الإصبع الخزفي باستخدام مبدأ كأس الشفط متبوعًا بنقل باستخدام ذراع عمل ميكانيكي يمتد ، ودوران الدوران على التوالي.

"السرعة العالية" و "النظافة" هي الخصائص الأساسية لمعدات معالجة رقاقة أشباه الموصلات. لتلبية هذه الخصائص ، يكون للمعدات متطلبات صارمة للغاية على أداء المكونات المستخدمة. نظرًا لأن معظم العمليات يتم تنفيذها في فراغ ودرجة حرارة عالية وبيئة غاز تآكل ، يجب أن يكون لذراع المناولة المستخدمة في الجهاز خصائص فيزيائية ممتازة ، مثل: القوة الميكانيكية العالية ، ومقاومة التآكل ، ومقاومة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل ، والصلابة العالية ، والعزل ، وما إلى ذلك ، والمواد المتقدمة يمكن أن تلبي هذه الشروط.

السيراميك سيليكون كربيداحصل على الخصائص الفيزيائية للملمس الكثيف ، والصلابة العالية ، ومقاومة التآكل العالية ، وكذلك مقاومة الحرارة الجيدة ، والقوة الميكانيكية الممتازة ، وعزل جيد في بيئة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل الجيدة وغيرها من الخصائص الفيزيائية. إنها مادة ممتازة لصنع أذرع معدات أشباه الموصلات.

مع إدراك أن المنصات الآلية تختلف بين FABS ومصنعي الأدوات ، تتوفر أيدينا الروبوت SIC في مجموعة من الأحجام الموحدة ويمكن تخصيصها لتكوينات الأدوات الفريدة. يمكن تصميم واجهات التثبيت ، وهندسة الأصابع ، وميزات دعم الرقاقة لتلبية احتياجات المعدات والعملية المحددة. سواء كنت تنقل الرققات داخل أدوات الكتلة أو غرف الفراغ أو أنظمة FOUP ، فإن أيدي الروبوت لدينا تدمج بسلاسة مع ماركات الروبوتات الرائدة.

يخضع كل روبوت SIC إلى إجراء تنظيف وتفتيش وتغليف صارم لضمان الامتثال لمعايير غرفة التنظيف من الفئة 1. يقلل السطح غير السامي المضاد لـ SIC من التصاق الجسيمات ، في حين أن الهيكل القوي يقاوم التصلبات الدقيقة التي يمكن أن تؤدي إلى توليد الجسيمات مع مرور الوقت. هذا يجعلها مثالية لعمليات الرقاقة الأمامية حيث يمكن أن يؤدي أدنى تلوث إلى فشل الجهاز.

من Epitaxy و Ion Dannitation إلى PVD ، CVD ، و CMP ، يتم الوثوق في أيدي الروبوت في كل خطوة من خطوة تصنيع جهاز أشباه الموصلات. إن مقاومتها الفائقة للبيئات الصدمة الحرارية والبلازما تجعلها لا غنى عنها في خطوط أشباه الموصلات المتقدمة والطاقة ، خاصةً عندما يتم استخدام ركائز رقاقة SIC.