كذا فراغ الخنازير

semicorexكربيد السيليكونSIC Vacuum chucks هي أدوات سيراميك عالية التقنية مصممة لعقد رقائق أشباه الموصلات بأمان وموثوقية خلال عمليات إزالة المواد الدقيقة. تم تصميمها لاستخدامها في بيئات طائرة فائقة الدرجات الحرارة والدرجات الحرارة العالية ، والكيميائي. تساعد الفراغ SIC على تقديم امتصاص وتفوق على الرقاقة والمواءمة. يتم تصنيع خنازير الفراغ SiCOREX SIC من سيراميك كربيد السيليكون عالية النقاء لتوفير قوة ميكانيكية ممتازة ، والتوصيل الحراري ، والمتانة الكيميائية.

تتمثل المهمة الرئيسية في الفراغ في سحب الشفط الموحد عبر سطح الرقاقة بحيث يتم الاحتفاظ بالرقاقة أثناء عمليات مثل التفتيش والترسب والحفر والطباعة الحجرية. الخطوط الفراغ النموذجية لديها مشاكل في توليد الجسيمات أو التزييف أو التدهور الكيميائي مع مرور الوقت. بالنسبة لظروف تصنيع أشباه الموصلات المتطرفة ، ستوفر خنازير SIC الفراغ المتانة والاستقرار على المدى الطويل.

تقدر مواد كربيد السيليكون بشكل كبير من أجل صلابةها واستقرارها الحراري ومعامل التمدد الحراري المنخفض. ستبقى هذه المواد مستقرة أبعادًا على نطاق واسع من درجات الحرارة ، مما يسمح بالاستقرار الحراري وتحسين دقة العملية دون عدم تطابق حراري إلى الرقاقة. يتيح الموصلية الحرارية العالية أيضًا تبديد الحرارة السريع ، وهو مفيد في ظروف الطبقة الأولية الحرارية السريعة أو للتعرض القصير للبلازما عالية الطاقة.

ليس للسيراميك SIC فوائد حرارية وميكانيكية فحسب ، بل إنه مقاوم أيضًا لتآكل البلازما وغازات العملية العدوانية. تجعل هذه الميزة خراطيش فراغ SIC مواتية بشكل خاص للحفر الجاف ، والأمراض القلبية الوعائية ، وعمليات PVD حيث يمكن أن تتحلل مواد نيتريد الكوارتز أو الألومنيوم مع الاستخدام. سوف يساعد الامتداد الكيميائي لـ SIC في الحد من التلوث وتحسين وقت رفع الأداة.

من أجل توفير أداء فائق. يصنع Semicorex خطيفات فراغ SIC وتحديد التحمل الضيق للغاية مع الأسطح المائلة للغاية مع هياكل القناة في تحديث Micron. مع هذه الميزات ، يوفر دعمًا للرقاقة مع شفط دقيق ومنطقة شفط مستمر لدعم الويفر المتناقص فرص الاعوجاج أو كسر الرقاقات أنفسهم. تتوفر خدمات التصميم المخصصة أيضًا لتناسب مختلف أحجام الرقاقة (2 "إلى 12") في تطبيقات مختلفة.

نظرًا لأن العائد الأعلى ، فإن التحكم في العمليات والموثوقية من العوامل ، فإن خطيفة الفراغ SIC هي المكونات الأساسية الجديدة لمعدات أشباه الموصلات من الجيل التالي. ترتبط تطبيقات chucks الفراغ SIC مباشرة لزيادة العائد وموثوقية المعدات والتحكم في المعالجة.