كذا القوارب الرأسية

القوارب الرأسية SIC SIC هي ناقلات رقاقة هندسية ، مصممة وتصنيع لتوفير أعلى الاستقرار الحراري والميكانيكي والكيميائي لمعالجة أشباه الموصلات الرأسية. شيدت من رقبة عاليةكربيد السيليكون، نعتقد أنها أفضل توازن بين القوة ، والمتانة ، والنظافة للمعالجة الحرارية المتقدمة للغاية ، التي تم الإشارة إليها على أنها أكسدة ، انتشار ، LPCVD ، والصلصة في أنظمة الفرن العمودي.

تتطلب بيئات معالجة الأفران العمودية نظام دعم رقاقة يمكنه تحمل التعرض المتكرر في درجة حرارة عالية ، وغالبًا ما تتجاوز 1200 درجة مئوية ، وتظل مستقرة بشكل قاطع دون مشاكل التلوث. تتفوق القوارب الرأسية في هذه المواقف بسبب الخواص الميكانيكية والحرارية الجوهرية لكربريد السيليكون المعاد بلورة أو CVD. يضمن معامل التوسع الحراري المنخفض للغاية الحد الأدنى من الصفراء أو التشويه بسبب ركوب الدراجات الحرارية السريعة. بالإضافة إلى ذلك ، يوفر الموصلية الحرارية العالية أكبر تجانس في درجات الحرارة المحلية في جميع الرقاقات ، وهو أمر بالغ الأهمية لاتساق الرقاقة في سماكة الطبقة ، وملفات تعريف المنشطات ، والأداء الكهربائي ؛ الجوانب المهمة للتصنيع ذو الحجم العالي في صناعة أشباه الموصلات.

بالمقارنة مع قوارب الكوارتز التقليدية ، تقدم القوارب العمودية الكذاة قوة ميكانيكية فائقة وحياة الخدمة الممتدة. تميل الكوارتز إلى أن تصبح هشة وتنشيط مع مرور الوقت ، وخاصة في كيمياء الأفران العدوانية ، مما يؤدي إلى ارتفاع تكاليف الاستبدال وانقطاع الإنتاج المحتمل. في المقابل ، يحافظ كربيد السيليكون على سلامته حتى بعد التعرض المطول للغازات المسببة للتآكل مثل الكلور أو حمض الهيدروكلوريك أو الأمونيا ، والتي تعتبر شائعة في عمليات الانتشار المختلفة وعمليات LPCVD. تقلل مقاومة التآكل والأكسدة الاستثنائية إلى حد كبير من توليد الجسيمات ، مما يساعد على حماية الأسطح بالرقابة من التلوث وتشكيل العيوب.

توفر القوارب الرأسية الكشفت أيضًا فائدة كبيرة من حيث المعالجة الفائقة. تتم معالجة مادة SIC عالية النقاء تحت الاجتهاد الصارم لتقليل المعادن تلوث التتبع المحدد والتي يمكن أن تتداخل مع الخصائص التشغيلية لأجهزة أشباه الموصلات. تم الانتهاء من أسطح القوارب العمودية الشديدة مع الميزات ذات الزيادة اليمنى تقلل من فرصة التخلص من الجسيمات الدقيقة. أسطح SIC خاملة كيميائيًا ولا تتفاعل مع غازات العملية وبالتالي فهي أقل عرضة للتلوث. في هذا الصدد ، تعد القوارب العمودية الشهيرة مناسبة تمامًا للواجهة الأمامية للخط (FEOL) ونهاية الخلفية لعمليات معالجة رقاقة الخط (BEOL).

القوارب العمودية كذا توفر أيضا مرونة التصميم. يمكن أن يكون كل قارب رأسي خاصًا بتصميم لاستيعاب أقطار رقاقة متعددة (150 مم أو 200 مم أو 300 مم) ويمكن استخدام عدد الفتحة والمسافة لتلبية متطلبات العملية. يتيح الآلات الدقيقة والتحكم الأبعاد في محاذاة الويفر المناسبة ودعم الرقاقة إلى الحد الأدنى من احتمال وجود أية صخور صغيرة أو تشققات الإجهاد أثناء التحميل والمعالجة والتفريغ. أيضًا ، إذا كانت التوحيد المتفوق في درجة الحرارة و / أو الكتلة الحرارية أقل مطلوبة لعملية معينة ، فقد يتم دمج الأشكال الهندسية المحسّنة وتصميمات القمار في تكوينات القوارب العمودية ، دون التضحية بأي خصائص ميكانيكية.

ميزة أخرى هي الصيانة والكفاءة التشغيلية. البناء الصارمكذاتقلل القوارب العمودية من وقت الاستبدال والتردد ، وبالتالي تقليل وقت التوقف عن العمل أو تكلفة الملكية. تتيح مقاومة الصدمة الحرارية لـ SIC دورات أقصر من التدفئة والتبريد لتقديم إنتاجية أعلى على خطوط الإنتاج. صيانة أو تنظيف القوارب العمودية كذا بسيطة للغاية ؛ يمكن أن تتحمل المادة معظم عمليات التنظيف الرطبة أو الجافة التقليدية الشائعة في FABs أشباه الموصلات مثل التنظيف الكيميائي مع الأحماض والخبز ذي درجة الحرارة العالية.

في هذا العصر الحديث لتصنيع أشباه الموصلات المتطورة حيث يكون لتحسين العائد ، والتحكم في التلوث والاستقرار في هذه العملية ، كلها أهمية ، توفر القوارب العمودية الشكلية ميزة تكنولوجية حقيقية. إنهم يتعاملون بشكل جيد مع التحديات الفيزيائية والكيميائية لتطبيقات الأفران الرأسية والمساهمة في تحسين العملية الشاملة من خلال تقديم سلامة الرقاقة والنتائج المتسقة وعمر المعدات الأطول.