قوارب رقاقة SiC

إن قارب الويفر Semicorex SiC، المصنوع من سيراميك كربيد السيليكون (SiC)، يقود الطريق في تلبية متطلبات صناعة أشباه الموصلات من خلال تقديم أداء لا مثيل له في البيئات ذات درجات الحرارة العالية. مع قيام صناعة أشباه الموصلات بدفع حدود التصنيع الدقيق بلا هوادة، يصبح الطلب على المواد المرنة والقوية أمرًا بالغ الأهمية.

يلعب قارب SiC Wafer Boat دورًا حاسمًا في الاحتفاظ برقائق متعددة ودعمها أثناء العمليات الحرارية مثل الانتشار والأكسدة وترسيب البخار الكيميائي (CVD). تتضمن هذه العمليات تعريض الرقائق لدرجات حرارة عالية للغاية، غالبًا ما تتجاوز 1000 درجة مئوية، في جو خاضع للرقابة. يعد توحيد واتساق هذه المعالجات الحرارية أمرًا بالغ الأهمية لضمان جودة وأداء أجهزة أشباه الموصلات التي يتم تصنيعها. إن قدرة قارب SiC Wafer Boat على تحمل درجات الحرارة المرتفعة دون تشوه أو تدهور تضمن معالجة الرقائق بشكل موحد، مما يؤدي إلى إنتاجية وأداء فائقين للجهاز.

تضمن التوصيل الحراري الاستثنائي لقوارب الويفر المصنوعة من كربيد السيليكون توزيعًا متساويًا للحرارة عبر جميع الرقائق، مما يقلل من مخاطر التدرجات الحرارية التي قد تؤدي إلى عيوب في أجهزة أشباه الموصلات. علاوة على ذلك، فإن معامل التمدد الحراري المنخفض (CTE) لـ SiC يؤدي إلى الحد الأدنى من التمدد الحراري والانكماش أثناء دورات التسخين والتبريد. يعد هذا الاستقرار أمرًا بالغ الأهمية لمنع الإجهاد الميكانيكي والأضرار المحتملة للرقائق، خاصة مع تقلص هندسة الأجهزة.

أثناء العمليات الحرارية، تتعرض الرقائق للعديد من الغازات التفاعلية التي يمكن أن تتفاعل مع مواد قارب الرقاقة SiC. تضمن المقاومة الكيميائية الممتازة لـ SiC عدم تفاعلها مع هذه الغازات، مما يمنع التلوث ويضمن نقاء الرقائق. وهذا أمر بالغ الأهمية بشكل خاص في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة، حيث يمكن أن تؤدي كميات ضئيلة من التلوث إلى عيوب وتقليل موثوقية الجهاز.