حاملة رقاقة SiC

إن حامل رقاقة Semicorex SiC مصنوع من سيراميك كربيد السيليكون عالي النقاء، من خلال تقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد، مما يعني أنه يمكنه تحقيق مكونات تصنيع عالية القيمة في وقت قصير. تسعى شركة Semicorex إلى توفير المنتجات المؤهلة عالية الجودة لعملائنا على مستوى العالم.*

إرسال استفسار

وصف المنتج

إن Semicorex SiC Wafer Carrier عبارة عن أداة متخصصة عالية النقاء مصممة لدعم ونقل رقائق أشباه الموصلات المتعددة من خلال بيئات المعالجة الحرارية والكيميائية الشديدة. توفر شركة Semicorex الجيل التالي من قوارب الويفر باستخدام تقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد المتقدمة، مما يضمن دقة هندسية لا مثيل لها ونقاء المواد لسير عمل تصنيع الرقاقات الأكثر تطلبًا.

إعادة تعريف الدقة: طباعة ثلاثية الأبعادعالية النقاء كربيد السيليكون

غالبًا ما تواجه طرق التصنيع التقليدية لحاملات الرقاقات، مثل التصنيع أو التجميع من أجزاء متعددة، قيودًا في التعقيد الهندسي وسلامة المفاصل. من خلال الاستفادة من التصنيع الإضافي (الطباعة ثلاثية الأبعاد)، تنتج شركة Semicorex حاملات رقائق SiC التي توفر مزايا تقنية كبيرة:

السلامة الهيكلية المتجانسة: تتيح الطباعة ثلاثية الأبعاد إنشاء هيكل سلس من قطعة واحدة. وهذا يزيل نقاط الضعف المرتبطة بالربط التقليدي أو اللحام، مما يقلل بشكل كبير من خطر الفشل الهيكلي أو تساقط الجسيمات أثناء دورات درجات الحرارة العالية.

الأشكال الهندسية الداخلية المعقدة: تتيح الطباعة ثلاثية الأبعاد المتقدمة تصميمات محسنة للفتحات وقنوات تدفق الغاز التي من المستحيل تحقيقها من خلال الآلات التقليدية باستخدام الحاسب الآلي. يؤدي ذلك إلى تعزيز تجانس غاز المعالجة عبر سطح الرقاقة، مما يؤدي بشكل مباشر إلى تحسين اتساق الدفعة.

كفاءة المواد والنقاء العالي: تستخدم عمليتنا مسحوق SiC عالي النقاء، مما ينتج عنه حامل يحتوي على الحد الأدنى من الشوائب المعدنية النزرة. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية لمنع التلوث المتبادل في عمليات الانتشار الحساس والأكسدة وعمليات LPCVD (ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط).

High temperature field

التميز في الأداء في البيئات القاسية

تم تصميم حاملات رقاقة Semicorex SiC لتزدهر حيث يفشل الكوارتز والسيراميك الآخر. الخصائص الكامنة فيكربيد السيليكون عالي النقاءتوفير أساس قوي لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة:

1. ثبات حراري فائق

كربيد السيليكونيحافظ على قوة ميكانيكية استثنائية عند درجات حرارة تتجاوز 1350 درجة مئوية. يضمن معامل التمدد الحراري المنخفض (CTE) بقاء فتحات الحامل متوازية تمامًا حتى أثناء مراحل التسخين والتبريد السريعة، مما يمنع "مشي" الرقاقة أو قرصها الذي يمكن أن يؤدي إلى كسر مكلف.

2. المقاومة الكيميائية العالمية

بدءًا من حفر البلازما العدوانية وحتى الحمامات الحمضية ذات درجة الحرارة العالية، فإن حاملات SiC لدينا تكون خاملة فعليًا. إنها مقاومة للتآكل الناتج عن الغازات المفلورة والأحماض المركزة، مما يضمن بقاء أبعاد فتحات الرقاقة ثابتة على مدى مئات الدورات. يُترجم طول العمر هذا إلى تكلفة إجمالية للملكية (TCO) أقل بكثير مقارنة ببدائل الكوارتز.

3. الموصلية الحرارية العالية

تضمن الموصلية الحرارية العالية لـ SiC توزيع الحرارة بشكل موحد في جميع أنحاء الناقل ونقلها بكفاءة إلى الرقائق. وهذا يقلل من تدرجات درجة الحرارة "من الحافة إلى المركز"، وهو أمر ضروري لتحقيق سماكة موحدة للفيلم وملامح معززة في معالجة الدفعات.