قوارب سيليكون كربيد

تُظهر قوارب كربيد السيليكون semicorex ثباتًا حراريًا استثنائيًا ، مما يتيح لها تحمل درجات الحرارة القصوى المطلوبة لعمليات الأكسدة والانتشار. تقلل مقاومة الصدمة الحرارية الممتازة من خطر التكسير أو التشوه ، مما يضمن طول العمر التشغيلي لفترة طويلة. يوفر تكوين SIC عالي الكثافة قوة ميكانيكية متفوقة ، مع الحفاظ على السلامة الهيكلية حتى تحت ركوب الدراجات الحرارية المستمرة. هذه المقاومة الاستثنائية للإجهاد الميكانيكي تقلل من احتمال تلوث الرقاقة والكسر ، مما يساهم في عوائد العمليات العليا. علاوة على ذلك ، تمتلك قوارب SIC مقاومة كيميائية رائعة ، وتبقى خاملًا لغازات العملية العدوانية المستخدمة في خطوات الأكسدة والانتشار. هذه الخاصية تمنع ردود الفعل غير المرغوب فيها التي يمكن أن تساوم نقاء الويفر وكفاءة الإنتاج.

يتم استخدام قوارب كربيد السيليكون في المقام الأول في أفران الأكسدة والانتشار ، حيث من الضروري التحكم الدقيق في التعرض للرقاقة لدرجات الحرارة المرتفعة والغازات التفاعلية. وهي تدعم رقاقات أثناء الأكسدة الحرارية لتنمو طبقات ثاني أكسيد السيليكون عالية الجودة وتسهيل تعاطي المنشطات الموحدة من خلال التعرض المتحكم فيه لغازات Dopant. بالإضافة إلى ذلك ، فإنها توفر منصة مستقرة للتلدين وغيرها من العلاجات عالية الحرارة التي تتطلب تعرضًا طويلًا للحرارة.

بالمقارنة مع قوارب الكوارتز التقليدية والجرافيت ، توفر قوارب كربيد السيليكون المتانة وطول العمر لا مثيل لها. إن قدرتهم على تحمل البيئات الحرارية والكيميائية القاسية مع تقليل التلوث يجعلها الخيار المفضل لتصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة. مع التركيز على الجودة والابتكار ، تقدم قوارب كربيد السيليكون أداءً فائقًا ، مما يضمن عوائد عالية ومعالجة بنية فعالة لمصنعي أشباه الموصلات في جميع أنحاء العالم. سواء بالنسبة لتقنيات العقدة المتقدمة أو تصنيع أشباه الموصلات القديمة ، توفر هذه القوارب حلاً موثوقًا لتلبية متطلبات الصناعة الصارمة.

(1) الحمل والحماية: تحمل قوارب كربيد السيليكون مواد أشباه الموصلات مثل الرقاقات من خلال أقواسها الداخلية أو فتحاتها ، وتستخدم مقاومة درجات الحرارة العالية والتآكل لمواد كربيد السيليكون لحماية الرقصات من البيئة الخارجية.

(2) التدفئة الموحدة: يسمح قارب كربيد السيليكون بتسخين الرقاقات في الداخل بالتساوي أثناء عملية معالجة الحرارة. هذا يساعد على ضمان أن تظل درجة حرارة ومعدل التفاعل لكل جزء من الرقاقة متسقة أثناء عملية معالجة الحرارة ، وبالتالي تحسين غلة وجودة الرقاقة.

يوجد حاليًا ثلاثة أنواع رئيسية منالسيليكون كربيد السيراميكالمواد: تلبيد التفاعل ، تلبيد الضغط ، وإعادة التبلد. في معظم التطبيقات ، يعد كربيد السيليكون الملبد بالرد هو منتجًا أكثر ملاءمة وفعالية من حيث التكلفة. عادةً ما تلبي قوارب SIC التي تم بلورةها وتصارع عدة أجزاء من الوحدة أولاً ، ثم استخدم معجون Si لدمج الأجزاء في قارب في درجة حرارة عالية ، وأخيراً تطبيق طلاء CVD-SIC (حوالي 100um). نظرًا لأن إعادة التبلور مسامية ، إذا لم يكن هناك طلاء SIC ، فسيقدم أيضًا partics في عملية أشباه الموصلات. هذا النوع من قارب SIC المعاد بلورة مع طلاء CVD-SIC لديه أطول عملية تصنيع ومكلفة للغاية. بالمقارنة مع قوارب الجرافيت المغلفة SIC ، فإن قوارب SIC المغلفة CVD-SIC لا تعاني من مشكلة عدم تطابق CTE.