قارب رقاقة السيراميك من كربيد السيليكون

توفر Semicorex قوارب الويفر والركائز وحاملات الويفر المخصصة لكل من التكوينات الرأسية / العمودية والأفقية. لقد كنا الشركة المصنعة والموردة لفيلم طلاء كربيد السيليكون لسنوات عديدة. يتمتع قارب الويفر الخزفي المصنوع من كربيد السيليكون بميزة سعرية جيدة ويغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

قارب الرقاقة الخزفي المصنوع من كربيد السيليكون Semicorex، هو الحل النهائي للتعامل مع الرقاقة وحمايتها في تصنيع أشباه الموصلات.
إن قارب الرقاقة الخزفي من كربيد السيليكون الخاص بنا مصنوع من مواد عالية الجودة مطلية بطبقة من كربيد السيليكون (SiC) المستخدمة بطريقة CVD، والتي تتمتع بمقاومة جيدة للتآكل ومقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والصدمات الحرارية. يوفر السيراميك المتقدم مقاومة حرارية ممتازة ومتانة للبلازما مع تخفيف الجسيمات والملوثات لحاملات الرقاقات عالية السعة.

معلمات قارب رقاقة السيراميك من كربيد السيليكون

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		رد فعل متكلس كربيد السيليكون	كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط	كربيد السيليكون المعاد بلورته
تعبير		RBSiC	SSIC	آر-سيك
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
قوة العاطفة	ميغاباسكال (كبسي)	338(49)	380(55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة ضاغطة	ميغاباسكال (كبسي)	1120(158)	3970(560)	> 600
صلابة	زر	2700	2800	/
كسر المثابرة	ميجاباسكال م1/2	4.5	4	/
الموصلية الحرارية	ث/م.ك	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-6.1/درجة مئوية	5	4	4.7
حرارة محددة	جول / جم 0 ك	0.8	0.67	/
أقصى درجة حرارة في الهواء	℃	1200	1500	1600
معامل مرن	المعدل التراكمي	360	410	240

الفرق بين SSiC و RBSiC:

1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.

2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.

3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC

مميزات قارب الويفر الخزفي من كربيد السيليكون

مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.