توفر Semicorex قوارب بسكويت الويفر ، وقواعد ، وحاملات بسكويت الويفر المخصصة لكل من التكوينات الرأسية / العمودية والأفقية. نحن مصنعون وموردون لفيلم طلاء كربيد السيليكون لسنوات عديدة. يتميز قارب بسكويت الويفر المصنوع من كربيد السيليكون بميزة سعرية جيدة ويغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
قارب رقاقة سيراميك كربيد السيليكون من Semicorex ، الحل النهائي لمعالجة الرقاقة وحمايتها في تصنيع أشباه الموصلات.
إن مركب بسكويت الويفر المصنوع من كربيد السيليكون مصنوع من مادة عالية الجودة مطلية بطبقة من كربيد السيليكون (SiC) تستخدم طريقة CVD ، والتي تتمتع بمقاومة جيدة للتآكل ومقاومة ممتازة لدرجات الحرارة المرتفعة والصدمات الحرارية. يوفر السيراميك المتقدم مقاومة حرارية ممتازة ومتانة البلازما بينما يخفف الجسيمات والملوثات لحاملات بسكويت الويفر عالية السعة.
معلمات قارب رقاقة السيراميك كربيد السيليكون
الخصائص التقنية |
||||
فِهرِس |
وحدة |
قيمة |
||
اسم المادة |
تفاعل كربيد السيليكون المتكلس |
كربيد السيليكون متكلس الضغط |
كربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
تعبير |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
الكثافة الظاهرية |
ز / سم 3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60 - 2.70 |
قوة العاطفة |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية) |
قوة الضغط |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
صلابة |
كنوب |
2700 |
2800 |
/ |
كسر المثابرة |
ميجا باسكال م 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
توصيل حراري |
ث / عضو الكنيست |
95 |
120 |
23 |
معامل التمدد الحراري |
10-6.1 / درجة مئوية |
5 |
4 |
4.7 |
حرارة نوعية |
جول / ز 0 ك |
0.8 |
0.67 |
/ |
أقصى درجة حرارة في الهواء |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
معامل المرونة |
المعدل التراكمي |
360 |
410 |
240 |
الفرق بين SSiC و RBSiC:
1. عملية التكلس مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة ، ويتكون SSiC من الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.
2. SSiC لديها سطح أكثر نعومة ، كثافة أعلى وقوة أعلى ، بالنسبة لبعض المواد المانعة للتسرب بمتطلبات سطح أكثر صرامة ، فإن SSiC سيكون أفضل.
3. وقت استخدام مختلف تحت درجة حرارة ودرجة حرارة مختلفة ، يكون SSiC أطول من RBSiC
مميزات قارب بسكويت الويفر من كربيد السيليكون
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.