قوارب ويفر من السيراميك مصنوعة من كربيد السيليكون

اختيار المواد المتميزة

الخصائص الممتازة لسيراميك كربيد السيليكون Semicorexقوارب الويفرتعزى إلى مواد خام عالية الجودة. مصنوعة من مادة SiSiC من فئة أشباه الموصلات ومغطاة بطبقة CVD SiC، تتميز قوارب الويفر الخزفية من كربيد السيليكون بالخصائص الممتازة التالية.

1. فائقة النقاء، خالية من إطلاق الشوائب المعدنية

شوائب الركيزة: <100 جزء في المليون

شوائب طلاء CVD SiC: أقل من 1 جزء في المليون

2. الاستقرار الحراري متفوقة

تتميز قوارب الويفر الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون بالقدرة على الأداء بثبات في ظروف درجات الحرارة العالية التي تصل إلى 1250 درجة مئوية، مما يوفر الحد الأدنى من التشوه ومقاومة الزحف.

3. قوة ميكانيكية عالية

كربيد السيليكونتتميز بصلابة عالية ومقاومة للتآكل، مما يمكّن قوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex من مقاومة الخدوش والسحجات والأضرار، وبالتالي أداء جيد أثناء التشغيل طويل الأمد ومقاومة للتلف.

4. مقاومة التآكل استثنائية

نظرًا لأن كربيد السيليكون مقاوم للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات القوية، يمكن لقوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex الحفاظ على سلامتها الهيكلية وأدائها الوظيفي حتى في ظل ظروف العمل شديدة التآكل.

التصميم الهيكلي الأمثل

تم تصميم قوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex لمعالجة الرقاقات المجمعة، ويضمن إطارها الهيكلي الأمثل دعمًا مستقرًا للرقاقات المجمعة واستقرارًا ثابتًا للعملية لكل رقاقة.

1.3-هيكل الدعم العمودي

يتيح الهيكل الرأسي لقوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex إمكانية مطابقة تطبيقات الأفران الرأسية بسلاسة. ومن خلال هذا الهيكل، يمكن لقوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون emicorex تسهيل التداول المتجانس لغازات المعالجة والتوزيع الموحد للطاقة الحرارية داخل الفرن عالي الحرارة.

2. قرصات فتحة موزعة بشكل موحد

تم تجهيز قوارب الويفر الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex بفتحات متعددة مصنوعة بدقة على أعمدة الدعم الخاصة بها. تحقق فتحات الفتحات المتباعدة بشكل متساوٍ تباعدًا مناسبًا بين الفتحات، مما يمكّن قوارب الرقاقة الخزفية من كربيد السيليكون من تأمين رقائق أشباه الموصلات بإحكام، مما يساهم في تحسين اتساق نتائج المعالجة الحرارية للرقاقة.

مع العديد من الأداء والوظائف الممتازة، تُستخدم قوارب الرقاقة الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون Semicorex على نطاق واسع في العمليات الأساسية لتصنيع رقائق أشباه الموصلات، مثل الأكسدة، والانتشار، وزرع الأيونات، والتليين بدرجة حرارة عالية.