فراغ كربيد السيليكون

يعد تشاك Carbide Siliconx Silicon Carbide جزءًا مهمًا من تصنيع أشباه الموصلات للعمليات التي تحتاج إلى دقة عالية وانخفاض التلوث. يتم تصنيع الخنزير الفراغي من سيراميك كربيد السيليكون المسامي عالي النقاء ويوفر قوة ميكانيكية ممتازة ، والتوصيل الحراري ، والختام الكيميائي ، ويتميز ببنية مسام يتم التحكم فيها بدقة للاحتفاظ بالفراغ الموثوق. إن فراغ كربيد السيليكون هو جهاز امتصاص وظيفي مصنوع من مادة سيراميك سيليكون (SIC) ، والتي تعتمد على الضغط السلبي الفراغي أو الامتزاز الإلكتروستاتيكي أو التثبيت الميكانيكي لتوفير فهم مستقر لقطعة العمل. تستخدم الخنازير الفراغية في أشباه الموصلات ، والخلايا الكهروضوئية ، والتصنيع الدقيق والتطبيقات الأخرى التي لها متطلبات عالية بشكل غير عادي لمقاومة ارتفاع درجات الحرارة المرتفعة ، ومقاومة التآكل والنظافة.

قاعدةتشاكهي مادة SIC التي يسهل اختراقها ، والتي لها بيرس هواء يمكن التنبؤ به عبر سطحه. هذا يعني أنه من الممكن أن يتم امتصاص رقاقة بأمان بدون تثبيط ميكانيكي وبالتالي لا تؤثر على إمكانات الأضرار المادية أو تلوث العينة. يتم التحكم في مسامية المادة بإحكام - عادةً ما تتراوح مسامية من 35-40 ٪ - لتوفير توزيع فراغ مناسب ولكن أيضًا تلبية المتطلبات الهيكلية لركوب الدراجات الحرارية والميكانيكية.

فراغ الويفرعادة ما تكون مصنوعة من سطح صلب مع العديد من الثقوب الصغيرة أو القنوات على السطح. من خلال هذه الثقوب الصغيرة ، يمكن توصيل تشاك بمضخة فراغ ، مما يخلق تأثير فراغ. عندما يتم وضع الرقاقة على تشاك ، يتم تشغيل مضخة الفراغ وتوجه الهواء عبر الثقوب الصغيرة ، مما يخلق فراغًا بين الرقاقة والتشاك. هذا التأثير الفراغي يخلق ما يكفي من الشفط لربط الويفر بحزم على سطح تشاك.

غالبًا ما تستخدم الأسطح الخزفية في التطبيقات التي تتطلب نقاءًا عاليًا واستقرارًا كيميائيًا. السيراميك هي المواد التي تنتجها اندماج درجات الحرارة العالية من المعادن. بشكل عام ، السيراميك عبارة عن عوازل كهربائية أو أشباه الموصلات ولديها مقاومة عالية للانهيار الحراري والتآكل والأضرار.

يقوم Semicorex ببناء فراغ مخصص للسيليكون كربيد على مواصفات العميل لأشياء مثل الأبعاد والمسامية والتشطيب السطحي وأنماط توجيه الفراغ. نتيجة لقدراتنا في التصنيع والغرفة النظيفة ، نقدم الأفضل في سفك الجسيمات المنخفضة والنظافة لاستيعاب متطلبات النظافة لجميع شركات تصنيع أشباه الموصلات ومصنعي المعدات.

يمكننا أن نجعل تشاك لأي رقاقة بحجم ، من رقاقة 2 بوصة إلى 12 بوصة والتكيف لدمج تشاك في عدد كبير من معدات معالجة الرقاقة. يمكن استخدامه للعمليات الأمامية و/أو العمليات الخلفية ، مما يجعل تفريغ SIC عبارة عن وسائل اقتصادية ودقيقة ومستقرة وخالية من التلوث لدعم الرقاقة في سير عمل أشباه الموصلات FAB.

يعد Chuck Carbide Carbide أداة أساسية في تصنيع أشباه الموصلات اليوم ، حيث يجمع بين أفضل المواد والهندسة. إن الموثوقية المتينة والملتصقة من خلال التطرف الحراري والكيميائي تجعلها الدعم المثالي في تطبيقات العملية التي تشمل الشمع والتخفيف والتنظيف و RTA. من خلال شراء فراغ سيليكون كربيد الخاص بك من خلال semicorex ، تضمن أفضل نقاء المواد والحلول المخصصة والأداء الموثوق به لنتائج متفوقة عبر جميع خطوط معالجة الرقاقة الخاصة بك.