حاملة رقاقة السيليكون

توفر شركة Semicorex سيراميكًا من فئة أشباه الموصلات لأدوات التصنيع شبه المصنعة الأصلية ومكونات معالجة الرقاقات التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا الشركة المصنعة والموردة لحامل رقاقة السيليكون لسنوات عديدة. تتمتع حاملة رقائق السيليكون الخاصة بنا بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تستخدم عمليات ترسيب أشباه الموصلات مزيجًا من الغازات الأولية المتطايرة والبلازما ودرجة الحرارة المرتفعة لطبقة أغشية رقيقة عالية الجودة على الرقائق. تحتاج غرف الترسيب وأدوات التعامل مع الرقاقات إلى مكونات سيراميكية متينة لتتمكن من مواجهة هذه البيئات الصعبة.
إن حامل رقاقة السيليكون Semicorex عبارة عن كربيد السيليكون عالي النقاء، والذي يتميز بخصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز.

معلمات حامل رقاقة السيليكون

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		رد فعل متكلس كربيد السيليكون	كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط	كربيد السيليكون المعاد بلورته
تعبير		RBSiC	SSIC	آر-سيك
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
قوة العاطفة	ميغاباسكال (كبسي)	338(49)	380(55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة ضاغطة	ميغاباسكال (كبسي)	1120(158)	3970(560)	> 600
صلابة	زر	2700	2800	/
كسر المثابرة	ميجاباسكال م1/2	4.5	4	/
الموصلية الحرارية	ث/م.ك	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-6.1/درجة مئوية	5	4	4.7
حرارة محددة	جول / جم 0 ك	0.8	0.67	/
أقصى درجة حرارة في الهواء	℃	1200	1500	1600
معامل مرن	المعدل التراكمي	360	410	240

الفرق بين SSiC و RBSiC:

1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.

2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.

3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC

مميزات حامل رقاقة السيليكون

جرافيت عالي النقاء مطلي بـ SiC
مقاومة الحرارة متفوقة والتوحيد الحراري
مطلي بكريستال SiC الناعم للحصول على سطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المادة بحيث لا تحدث تشققات وتصفيح.

الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكون:

● قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك

● أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / غلاف سيراميك

● حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / فاصل سيراميك

● قرص سيراميك

● لوح سيراميك / كتلة سيراميك

● كرة سيراميكية

● مكبس سيراميك

● فوهة من السيراميك

● بوتقة سيراميكية

● أجزاء أخرى من السيراميك حسب الطلب