ناقل بسكويت الويفر من السيليكون

توفر Semicorex سيراميك من درجة أشباه الموصلات لأدوات تصنيع المعدات الأصلية ومكونات معالجة الرقائق التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا مُصنِّع ومورِّد لـ Silicon Wafer Carrier لسنوات عديدة. تتميز شركة Silicon Wafer Carrier بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تستخدم عمليات ترسيب أشباه الموصلات مزيجًا من الغازات السليفة المتطايرة والبلازما ودرجة الحرارة العالية لطبقة أغشية رفيعة عالية الجودة على رقائق. تحتاج غرف الترسيب وأدوات مناولة الرقائق إلى مكونات خزفية متينة للوقوف في مواجهة هذه البيئات الصعبة.
حاملة رقاقة السيليكون Semicorex عبارة عن كربيد السيليكون عالي النقاء ، والذي يتميز بخصائص مقاومة التآكل والحرارة العالية بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز.

معلمات ناقل رقاقة السيليكون

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		تفاعل كربيد السيليكون المتكلس	كربيد السيليكون متكلس الضغط	كربيد السيليكون المعاد بلورته
تعبير		RBSiC	SSiC	R- سيك
الكثافة الظاهرية	ز / سم 3	3	3.15 ± 0.03	2.60 - 2.70
قوة العاطفة	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة الضغط	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
صلابة	كنوب	2700	2800	/
كسر المثابرة	ميجا باسكال م 1/2	4.5	4	/
توصيل حراري	ث / عضو الكنيست	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-6.1 / درجة مئوية	5	4	4.7
حرارة نوعية	جول / ز 0 ك	0.8	0.67	/
أقصى درجة حرارة في الهواء	℃	1200	1500	1600
معامل المرونة	المعدل التراكمي	360	410	240

الفرق بين SSiC و RBSiC:

1. عملية التكلس مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة ، ويتكون SSiC من الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.

2. SSiC لديها سطح أكثر نعومة ، كثافة أعلى وقوة أعلى ، بالنسبة لبعض المواد المانعة للتسرب بمتطلبات سطح أكثر صرامة ، فإن SSiC سيكون أفضل.

3. وقت استخدام مختلف تحت درجة حرارة ودرجة حرارة مختلفة ، يكون SSiC أطول من RBSiC

مميزات ناقل بسكويت الويفر السيليكوني

الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.

الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكونï¼

â قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك

أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / جلبة سيراميك

حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / مباعد سيراميك

â قرص سيراميك

â لوح سيراميك / كتلة سيراميك

â كرة سيراميك

• مكبس سيراميك

فوهة من السيراميك

بوتقة خزفية

â أجزاء السيراميك المخصصة الأخرى