يتم إنشاء الجرافيت المطلي بـ TaC عن طريق طلاء سطح ركيزة من الجرافيت عالي النقاء بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاصة.
كربيد التنتالوم (TaC) هو مركب يتكون من التنتالوم والكربون. تتميز بموصلية كهربائية معدنية ونقطة انصهار عالية بشكل استثنائي، مما يجعلها مادة خزفية مقاومة للحرارة معروفة بقوتها وصلابتها ومقاومتها للحرارة والتآكل. تبلغ نقطة انصهار كربيدات التنتالوم ذروتها عند حوالي 3880 درجة مئوية اعتمادًا على النقاء ولها واحدة من أعلى نقاط الانصهار بين المركبات الثنائية. وهذا يجعله بديلاً جذابًا عندما تتجاوز متطلبات درجات الحرارة المرتفعة قدرات الأداء المستخدمة في العمليات الفوقية لأشباه الموصلات المركبة مثل MOCVD وLPE.
البيانات المادية لطلاء Semicorex TaC
المشاريع |
حدود |
كثافة |
14.3 (جم/سم3) |
الابتعاثية |
0.3 |
مرض الاعتلال الدماغي المزمن (×10-6/ك) |
6.3 |
صلابة (هونج كونج) |
2000 |
المقاومة (أوم سم) |
1 × 10-5 |
الاستقرار الحراري |
<2500 درجة مئوية |
تغيير أبعاد الجرافيت |
-10~-20um (القيمة المرجعية) |
سمك الطلاء |
≥20um القيمة النموذجية (35um±10um) |
|
|
ما ورد أعلاه هي القيم النموذجية |
|
يعتبر Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor مكونًا حاسمًا يستخدم في أفران ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) لمعالجة أشباه الموصلات الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتعتبر اللوحة المطلية بكربيد التنتالوم من Semicorex TaC حلاً متطورًا مصممًا لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات، خاصة في مرحلة المعالجة الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارحلقة التوجيه المطلية بـ Semicorex TaC، قمة الابتكار في أفران النمو البلورية الفردية من SiC (كربيد السيليكون). تم تصميم حلقة التوجيه هذه بدقة لتلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات، وتعدك بإعادة تعريف عمليات نمو الكريستال لديك بدقة وموثوقية لا مثيل لهما.
اقرأ أكثرإرسال استفسارجهاز Semicorex المتطور من الجرافيت المطلي بـ TaC، وهو مكون ثوري مصمم لرفع عملية الفوقي الخاصة برقائق الويفر إلى آفاق جديدة من الكفاءة والدقة. تم تصميمه بخبرة لا مثيل لها واستخدام أحدث التقنيات، وقد تم تصميم جهاز Semicorex TaC المطلي بالجرافيت لتلبية المتطلبات الدقيقة لتصنيع أشباه الموصلات.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتوفر Semicorex أجزاء الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم عالية الجودة مع خدمة مخصصة. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتوفر شركة Semicorex مادة الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم مع خدمة مخصصة. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسار