يتم إنشاء الجرافيت المطلي بـ TaC عن طريق طلاء سطح ركيزة من الجرافيت عالي النقاء بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاصة.
كربيد التنتالوم (TaC) هو مركب يتكون من التنتالوم والكربون. تتميز بموصلية كهربائية معدنية ونقطة انصهار عالية بشكل استثنائي، مما يجعلها مادة خزفية مقاومة للحرارة معروفة بقوتها وصلابتها ومقاومتها للحرارة والتآكل. تبلغ نقطة انصهار كربيدات التنتالوم ذروتها عند حوالي 3880 درجة مئوية اعتمادًا على النقاء ولها واحدة من أعلى نقاط الانصهار بين المركبات الثنائية. وهذا يجعله بديلاً جذابًا عندما تتجاوز متطلبات درجات الحرارة المرتفعة قدرات الأداء المستخدمة في العمليات الفوقية لأشباه الموصلات المركبة مثل MOCVD وLPE.
البيانات المادية لطلاء Semicorex TaC
المشاريع |
حدود |
كثافة |
14.3 (جم/سم3) |
الابتعاثية |
0.3 |
مرض الاعتلال الدماغي المزمن (×10-6/ك) |
6.3 |
صلابة (هونج كونج) |
2000 |
المقاومة (أوم سم) |
1 × 10-5 |
الاستقرار الحراري |
<2500 درجة مئوية |
تغيير أبعاد الجرافيت |
-10~-20um (القيمة المرجعية) |
سمك الطلاء |
≥20um القيمة النموذجية (35um±10um) |
|
|
ما ورد أعلاه هي القيم النموذجية |
|
تعد الحلقة المطلية بكربيد التنتالوم من Semicorex مكونًا حاسمًا يستخدم في معالجة أشباه الموصلات. إنه مصمم بطبقة متخصصة تؤدي وظائف متعددة لتعزيز كفاءة وطول عمر مكونات الجرافيت داخل آلات أشباه الموصلات. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارأجزاء الجرافيت المطلية بـ Semicorex TaC عبارة عن مكونات مصنوعة بدقة ومصممة خصيصًا لتحمل البيئة الصعبة لمعالجة أشباه الموصلات. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفساريمثل غطاء الجرافيت Semicorex TaC Coating حلاً متطورًا في مجال التطبيقات الحرارية لنمو البلورات والعمليات الفوقية (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتقف حلقة طلاء Semicorex TaC كعنصر محوري في عالم نمو أحادي البلورة داخل المجال الحراري. تم تصميم حلقة التوجيه المتخصصة هذه بدقة وابتكار، وتلعب دورًا حاسمًا في العملية المعقدة لإنتاج المواد الأحادية البلورية. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفساريعتبر Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor مكونًا حاسمًا يستخدم في أفران ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) لمعالجة أشباه الموصلات الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتعتبر اللوحة المطلية بكربيد التنتالوم من Semicorex TaC حلاً متطورًا مصممًا لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات، خاصة في مرحلة المعالجة الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسار