يتم إنشاء الجرافيت المطلي بـ TaC عن طريق طلاء سطح ركيزة من الجرافيت عالي النقاء بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاصة.
كربيد التنتالوم (TaC) هو مركب يتكون من التنتالوم والكربون. تتميز بموصلية كهربائية معدنية ونقطة انصهار عالية بشكل استثنائي، مما يجعلها مادة خزفية مقاومة للحرارة معروفة بقوتها وصلابتها ومقاومتها للحرارة والتآكل. تبلغ نقطة انصهار كربيدات التنتالوم ذروتها عند حوالي 3880 درجة مئوية اعتمادًا على النقاء ولها واحدة من أعلى نقاط الانصهار بين المركبات الثنائية. وهذا يجعله بديلاً جذابًا عندما تتجاوز متطلبات درجات الحرارة المرتفعة قدرات الأداء المستخدمة في العمليات الفوقية لأشباه الموصلات المركبة مثل MOCVD وLPE.
البيانات المادية لطلاء Semicorex TaC
المشاريع |
حدود |
كثافة |
14.3 (جم/سم3) |
الابتعاثية |
0.3 |
مرض الاعتلال الدماغي المزمن (×10-6/ك) |
6.3 |
صلابة (هونج كونج) |
2000 |
المقاومة (أوم سم) |
1 × 10-5 |
الاستقرار الحراري |
<2500 درجة مئوية |
تغيير أبعاد الجرافيت |
-10~-20um (القيمة المرجعية) |
سمك الطلاء |
≥20um القيمة النموذجية (35um±10um) |
|
|
ما ورد أعلاه هي القيم النموذجية |
|
حلقة دليل كربيد التنتالوم من سيميكوركس عبارة عن حلقة جرافيت مطلية بكربيد التنتالوم، تستخدم في أفران نمو بلورات كربيد السيليكون لدعم بلورات البذور، وتحسين درجة الحرارة، وتعزيز استقرار النمو. اختر Semicorex نظرًا لمواده وتصميمه المتقدم، الذي يعمل على تحسين كفاءة وجودة نمو البلورات بشكل كبير.*
اقرأ أكثرإرسال استفسارحلقة Semicorex Tantalum Carbide هي حلقة جرافيت مطلية بكربيد التنتالوم، تستخدم كحلقة توجيه في أفران نمو بلورات كربيد السيليكون لضمان التحكم الدقيق في درجة الحرارة وتدفق الغاز. اختر Semicorex نظرًا لتقنية الطلاء المتقدمة والمواد عالية الجودة، مما يوفر مكونات متينة وموثوقة تعزز كفاءة نمو البلورات وعمر المنتج.*
اقرأ أكثرإرسال استفساريجب تصميم صينية الويفر المطلية بطبقة Semicorex TaC لتتحمل تحديات الظروف القاسية داخل غرفة التفاعل، بما في ذلك درجات الحرارة المرتفعة والبيئات التفاعلية كيميائيًا.**
اقرأ أكثرإرسال استفسارتتميز لوحة طلاء Semicorex TaC بأنها مكون عالي الأداء لعملية النمو الفوقي المطلوبة وبيئات تصنيع أشباه الموصلات الإضافية. ومع سلسلة من الخصائص المتفوقة، يمكنها في النهاية تعزيز الإنتاجية والفعالية من حيث التكلفة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.**
اقرأ أكثرإرسال استفساريعد Semicorex LPE SiC-Epi Halfmoon أحد الأصول التي لا غنى عنها في عالم النفوق، حيث يوفر حلاً قويًا للتحديات التي تفرضها درجات الحرارة المرتفعة والغازات التفاعلية ومتطلبات النقاء الصارمة.**
اقرأ أكثرإرسال استفسارلقد أصبح غطاء طلاء Semicorex CVD TaC تقنية تمكينية مهمة في البيئات الصعبة داخل المفاعلات الفوقية، والتي تتميز بدرجات الحرارة المرتفعة والغازات التفاعلية ومتطلبات النقاء الصارمة، مما يتطلب مواد قوية لضمان نمو بلوري متسق ومنع التفاعلات غير المرغوب فيها.**
اقرأ أكثرإرسال استفسار