يتم إنشاء طلاء الجرافيت TaC من خلال طلاء سطح الركيزة عالية النقاء من الجرافيت بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم بواسطة عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
كربيد التنتالوم (TaC) مركب يتكون من التنتالوم والكربون. لها موصلية كهربائية معدنية ونقطة انصهار عالية بشكل استثنائي ، مما يجعلها مادة خزفية حرارية معروفة بقوتها وصلابتها ومقاومتها للحرارة والتآكل. تبلغ درجة انصهار كربيدات التنتالوم ذروتها عند حوالي 3880 درجة مئوية اعتمادًا على النقاوة ولديها واحدة من أعلى نقاط الانصهار بين المركبات الثنائية. وهذا يجعله بديلاً جذابًا عندما تتجاوز متطلبات درجات الحرارة المرتفعة قدرات الأداء المستخدمة في العمليات الفوقية لأشباه الموصلات المركبة مثل MOCVD و LPE.
بيانات المواد لطلاء Semicorex TaC
المشاريع |
حدود |
كثافة |
14.3 (جم / سم مكعب) |
الانبعاثية |
0.3 |
CTE (× 10-6/ك) |
6.3 |
صلابة (هونج كونج) |
2000 |
المقاومة (أوم سم) |
1 × 10-5 |
الاستقرار الحراري |
<2500 |
تغيير بعد الجرافيت |
-10 ~ -20um (قيمة مرجعية) |
سمك التغليف |
â 20um قيمة نموذجية (35um ± 10um) |
|
|
ما سبق قيم نموذجية |
|
جهاز Semicorex المتطور من الجرافيت المطلي بـ TaC، وهو مكون ثوري مصمم لرفع عملية الفوقي الخاصة برقائق الويفر إلى آفاق جديدة من الكفاءة والدقة. تم تصميم جهاز Semicorex TaC المطلي بالجرافيت بخبرة لا مثيل لها واستخدام أحدث التقنيات، وقد تم تصميمه لتلبية المتطلبات الدقيقة لتصنيع أشباه الموصلات.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتوفر Semicorex أجزاء الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم عالية الجودة مع خدمة مخصصة. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتوفر شركة Semicorex مادة الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم مع خدمة مخصصة. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارالجرافيت المسامي المطلي بـ Semicorex TaC، هو مادة متقدمة عالية النقاء في معالجة أشباه الموصلات. تلعب هذه القطعة المهمة من المعدات دورًا محوريًا في عملية نمو بلورة SiC المفردة. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفساركصناعة احترافية ، نود أن نقدم لك حلقات TaC Coated. تقديم الحلقة المطلية CVD Tac ، وهي حل حديث لمعدات أشباه الموصلات. يتميز هذا المنتج المتطور بطلاء متطور لترسيب البخار الكيميائي (CVD) يوفر متانة ومقاومة استثنائية للتآكل والتلف.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتقديم البوتقة المطلية CVD Tac ، الحل الأمثل لمصنعي معدات أشباه الموصلات والمستخدمين الذين يطلبون أعلى مستوى من الجودة والأداء. إن البوتقات الخاصة بنا مطلية بطبقة من أحدث طراز CVD Tac (كربيد التنتالوم) ، والتي توفر مقاومة فائقة للتآكل والتآكل ، مما يجعلها مثالية للاستخدام في مجموعة متنوعة من تطبيقات أشباه الموصلات.
اقرأ أكثرإرسال استفسار