يتم إنشاء طلاء الجرافيت TaC من خلال طلاء سطح الركيزة عالية النقاء من الجرافيت بطبقة دقيقة من كربيد التنتالوم بواسطة عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
كربيد التنتالوم (TaC) مركب يتكون من التنتالوم والكربون. لها موصلية كهربائية معدنية ونقطة انصهار عالية بشكل استثنائي ، مما يجعلها مادة خزفية حرارية معروفة بقوتها وصلابتها ومقاومتها للحرارة والتآكل. تبلغ درجة انصهار كربيدات التنتالوم ذروتها عند حوالي 3880 درجة مئوية اعتمادًا على النقاوة ولديها واحدة من أعلى نقاط الانصهار بين المركبات الثنائية. وهذا يجعله بديلاً جذابًا عندما تتجاوز متطلبات درجات الحرارة المرتفعة قدرات الأداء المستخدمة في العمليات الفوقية لأشباه الموصلات المركبة مثل MOCVD و LPE.
بيانات المواد لطلاء Semicorex TaC
المشاريع |
حدود |
كثافة |
14.3 (جم / سم مكعب) |
الانبعاثية |
0.3 |
CTE (× 10-6/ك) |
6.3 |
صلابة (هونج كونج) |
2000 |
المقاومة (أوم سم) |
1 × 10-5 |
الاستقرار الحراري |
<2500 |
تغيير بعد الجرافيت |
-10 ~ -20um (قيمة مرجعية) |
سمك التغليف |
â 20um قيمة نموذجية (35um ± 10um) |
|
|
ما سبق قيم نموذجية |
|
أجزاء الجرافيت المطلية بـ Semicorex TaC عبارة عن مكونات مصنوعة بدقة ومصممة خصيصًا لتحمل البيئة الصعبة لمعالجة أشباه الموصلات. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفساريمثل غطاء الجرافيت Semicorex TaC Coating حلاً متطورًا في مجال التطبيقات الحرارية لنمو البلورات والعمليات الفوقية (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتعتبر حلقة طلاء Semicorex TaC عنصرًا محوريًا في عالم نمو البلورات الأحادية داخل المجال الحراري. تم تصميم حلقة التوجيه المتخصصة هذه بدقة وابتكار، وتلعب دورًا حاسمًا في العملية المعقدة لإنتاج المواد الأحادية البلورية. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفساريعتبر Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor مكونًا حاسمًا يستخدم في أفران ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) لمعالجة أشباه الموصلات الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارتعتبر اللوحة المطلية بكربيد التنتالوم من Semicorex TaC حلاً متطورًا مصممًا لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات، خاصة في مرحلة المعالجة الفوقي (epi). تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
اقرأ أكثرإرسال استفسارحلقة التوجيه المطلية بـ Semicorex TaC، قمة الابتكار في أفران النمو البلورية الفردية من SiC (كربيد السيليكون). تم تصميم حلقة التوجيه هذه بدقة لتلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات، وتعدك بإعادة تعريف عمليات النمو البلوري لديك بدقة وموثوقية لا مثيل لهما.
اقرأ أكثرإرسال استفسار