قارب بسكويت الويفر لعملية أشباه الموصلات

الخصائص التقنية

فِهرِس

وحدة

قيمة

اسم المادة

تفاعل كربيد السيليكون المتكلس

كربيد السيليكون متكلس الضغط

كربيد السيليكون المعاد بلورته

تعبير

RBSiC

SSiC

R-SiC

الكثافة الظاهرية

ز / سم 3

3

3.15 ± 0.03

2.60 - 2.70

قوة العاطفة

MPa (kpsi)

338 (49)

380 (55)

80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)

قوة الضغط

MPa (kpsi)

1120 (158)

3970 (560)

> 600

صلابة

كنوب

2700

2800

/

كسر المثابرة

ميجا باسكال م 1/2

4.5

4

/

توصيل حراري

ث / عضو الكنيست

95

120

23

معامل التمدد الحراري

10^-6.1 / درجة مئوية

5

4

4.7

حرارة نوعية

جول / ز 0 ك

0.8

0.67

/

أقصى درجة حرارة في الهواء

℃

1200

1500

1600

معامل المرونة

المعدل التراكمي

360

410

240