قارب الويفر لعملية أشباه الموصلات

الخصائص التقنية

فِهرِس

وحدة

قيمة

اسم المادة

رد فعل متكلس كربيد السيليكون

كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط

كربيد السيليكون المعاد بلورته

تعبير

RBSiC

SSIC

آر-سيك

الكثافة الظاهرية

جم/سم3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

قوة الانحناء

ميغاباسكال (كبسي)

338(49)

380(55)

80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)

قوة ضاغطة

ميغاباسكال (كبسي)

1120(158)

3970(560)

> 600

صلابة

زر

2700

2800

/

كسر المثابرة

ميجاباسكال م1/2

4.5

4

/

الموصلية الحرارية

ث/م.ك

95

120

23

معامل التمدد الحراري

10^-6.1/درجة مئوية

5

4

4.7

حرارة محددة

جول / جم 0 ك

0.8

0.67

/

أقصى درجة حرارة في الهواء

℃

1200

1500

1600

معامل مرن

المعدل التراكمي

360

410

240