قوارب الرقاقة

تعد قوارب رقاقة Semicorex المصنعة من كربيد السيليكون عالي النقاء (SIC) مكونات أساسية في تصنيع أشباه الموصلات. تشمل عمليات أشباه الموصلات التي يتم استخدامها عادةً بيئات عالية الحرارة وتآكل مثل الانتشار والأكسدة وعمليات LPCVD. تم تصميم تطبيق قوارب رقاقة SIC لزيادة الاستقرار الحراري والمقاومة الكيميائية ، مما يتيح الدعم الأمثل والمواءمة ونقل رقائق السيليكون أثناء المعالجة من أجل العائد الأمثل وأداء الجهاز.

تم توثيق كربيد السيليكون بشكل جيد على أنه خزفي ممتاز موصل حرارياً ، ويظهر قوة ميكانيكية عالية ومقاومة صدمة حرارية متفوقة ، ومقاومة الأكسدة ، والمقاومة الكيميائية العدوانية مع المواد الكيميائية مثل HF و HCl. إن خصائص SIC تجعلها جذابة بشكل خاص كمواد لقوارب الرقاقة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات من الجيل التالي وفي بيئات درجات الحرارة العالية. يمكن أن تحافظ قوارب رقاقة SIC على النزاهة الهيكلية والاستقرار الأبعاد في درجات حرارة العملية التي تزيد عن 1500 درجة مئوية ، مما يقلل من خطر تشويه أو تلوث العرقات في العلاجات الحرارية الحرجة.

كل كذاقارب رقاقةيتم تصنيعه من SIC عالي النقاء باستخدام عمليات تشكيل وتلبيد من السيراميك المتقدمة ، ويمكن تخصيصها لمجموعة واسعة من أقطار الرقاقة (100 مم ، 150 مم ، 200 مم ، 300 مم) وكذلك تكديس التكوينات سواء كانت رأسية أو أفقية. تحتوي قوارب رقاقة SIC لدينا على أسطح ناعمة وتسطيح ممتازة تقلل من توليد الجسيمات وهي مثالية لأنظمة معالجة الرقاقة الآلية.

التحكم في التلوث والعائد هما من أهم القضايا في العصر الحديث. تؤثر نظافة شركات النقل والاعتمادية على جودة المنتج على جودة المنتج وأداء عملية الاتساق.  تتمتع قوارب رقاقة SIC طول العمر أفضل بكثير للاستخدام ، ولديها عدد أقل من متطلبات الصيانة و TCO أقل من بدائل الكوارتز أو الألومينا. يعني طول طول العمر أيضًا مشاكل أقل مع سفك الجسيمات الصغيرة ، وبالتالي ، مما يؤثر على نظافة سطح الرقاقة والتأثير على نظافة الغرفة النظيفة.

يركز Semicorex على تصميم وتصنيع قوارب الرقاقة التي تستخدم أعلى المواد الخام الطهارة الممكنة جنبًا إلى جنب مع تلبد جو التلوث المنخفض.  نبذل قصارى جهدنا للحفاظ على مستويات الشوائب المنخفضة ، للحفاظ على المسامية بالقيمة المنخفضة ، والبنية المجهرية الموحدة ، بحيث يمكن لعمل الفريق الاستمتاع بانتظام الخصائص الحرارية المتسقة ، وتباعد الرقاقة الدقيق ومقاومة التحلل الكيميائي الذي لا مثيل له.

SEMICOREX SICقوارب الرقاقةهي عنصر ضروري في معالجة درجات الحرارة العالية من أشباه الموصلات. تحتوي قوارب رقاقة السيليكون عالية الدقة على خصائص مواد لا مثيل لها ، والتميز الهندسي ، ومزاج خالٍ من التلوث الدقيق ، مما يجعلها الخيار عالي المستوى لتصنيع الرقاقة عالي الأداء. يوفر Semicorex الموثوقية والأداء العالي المبتكر لدعم أكثر عمليات أشباه الموصلات المهمة.