توفر شركة Semicorex سيراميكًا من فئة أشباه الموصلات لأدوات التصنيع شبه المصنعة الأصلية ومكونات معالجة الرقاقات التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا الشركة المصنعة والموردة لأشباه الموصلات الناقل رقاقة لسنوات عديدة. تتمتع أشباه الموصلات الخاصة بحامل الويفر بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
تستخدم عمليات ترسيب أشباه الموصلات مزيجًا من الغازات الأولية المتطايرة والبلازما ودرجة الحرارة المرتفعة لطبقة أغشية رقيقة عالية الجودة على الرقائق. تحتاج غرف الترسيب وأدوات التعامل مع الرقاقات إلى مكونات سيراميكية متينة لتتمكن من مواجهة هذه البيئات الصعبة. Semicorex Wafer Carrier Semiconductor عبارة عن كربيد السيليكون عالي النقاء، والذي يتميز بخصائص مقاومة عالية للتآكل والحرارة بالإضافة إلى التوصيل الحراري الممتاز.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن أشباه الموصلات الخاصة بحامل الرقاقات.
معلمات أشباه الموصلات لحامل الرقاقة
الخصائص التقنية |
||||
فِهرِس |
وحدة |
قيمة |
||
اسم المادة |
رد فعل متكلس كربيد السيليكون |
كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط |
كربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
تعبير |
RBSiC |
SSIC |
آر-سيك |
|
الكثافة الظاهرية |
جم/سم3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
قوة العاطفة |
ميغاباسكال (كبسي) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية) |
قوة ضاغطة |
ميغاباسكال (كبسي) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
صلابة |
زر |
2700 |
2800 |
/ |
كسر المثابرة |
ميجاباسكال م1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
الموصلية الحرارية |
ث/م.ك |
95 |
120 |
23 |
معامل التمدد الحراري |
10-6.1/درجة مئوية |
5 |
4 |
4.7 |
حرارة محددة |
جول / جم 0 ك |
0.8 |
0.67 |
/ |
أقصى درجة حرارة في الهواء |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
معامل مرن |
المعدل التراكمي |
360 |
410 |
240 |
الفرق بين SSiC و RBSiC:
1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.
2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.
3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC
مميزات أشباه الموصلات لحامل الرقاقة
- انخفاض انحراف الطول الموجي وزيادة إنتاجية الرقائق
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- يؤدي تفاوت الأبعاد الأكثر صرامة إلى زيادة إنتاجية المنتج وانخفاض التكاليف
- جرافيت عالي النقاء وطلاء SiC لمقاومة الثقب وعمر أطول
الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكون:
● قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك
● أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / غلاف سيراميك
● حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / فاصل سيراميك
● قرص سيراميك
● لوح سيراميك / كتلة سيراميك
● كرة سيراميكية
● مكبس سيراميك
● فوهة من السيراميك
● بوتقة سيراميكية
● أجزاء أخرى من السيراميك حسب الطلب