توفر Semicorex سيراميك من درجة أشباه الموصلات لأدوات تصنيع المعدات الأصلية ومكونات معالجة الرقائق التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا مُصنِّعًا ومورِّدًا لصينية نقل بسكويت الويفر لسنوات عديدة. تتميز صينية بسكويت الويفر بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
ليس فقط لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل epitaxy أو MOCVD ، أو معالجة مناولة الرقاقة ، توفر Semicorex حامل سيراميك فائق النقاء يستخدم لدعم الرقاقات. في جوهر العملية ، يتم تعريض صينية نقل بسكويت الويفر لـ MOCVD أولاً لبيئة الترسيب ، لذلك فهي تتميز بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. يتميز الناقل المطلي SiC أيضًا بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن صينية حاملة الويفر الخاصة بنا.
معلمات صينية نقل بسكويت الويفر
الخصائص التقنية |
||||
فِهرِس |
وحدة |
قيمة |
||
اسم المادة |
تفاعل كربيد السيليكون المتكلس |
كربيد السيليكون متكلس الضغط |
كربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
تعبير |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
الكثافة الظاهرية |
ز / سم 3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60 - 2.70 |
قوة العاطفة |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية) |
قوة الضغط |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
صلابة |
كنوب |
2700 |
2800 |
/ |
كسر المثابرة |
ميجا باسكال م 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
توصيل حراري |
ث / عضو الكنيست |
95 |
120 |
23 |
معامل التمدد الحراري |
10-6.1 / درجة مئوية |
5 |
4 |
4.7 |
حرارة نوعية |
جول / ز 0 ك |
0.8 |
0.67 |
/ |
أقصى درجة حرارة في الهواء |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
معامل المرونة |
المعدل التراكمي |
360 |
410 |
240 |
الفرق بين SSiC و RBSiC:
1. عملية التكلس مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة ، ويتكون SSiC من الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.
2. SSiC لديها سطح أكثر نعومة ، كثافة أعلى وقوة أعلى ، بالنسبة لبعض المواد المانعة للتسرب بمتطلبات سطح أكثر صرامة ، فإن SSiC سيكون أفضل.
3. وقت استخدام مختلف تحت درجة حرارة ودرجة حرارة مختلفة ، يكون SSiC أطول من RBSiC
مميزات صينية نقل بسكويت الويفر
- طلاء كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.
- عزل حراري مصنوع من الكربون الصلب النقي عالي الأداء.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- طلاء عالي النقاء من الجرافيت و SiC لمقاومة الثقب وعمر أطول
الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكونï¼
â قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك
أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / جلبة سيراميك
حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / مباعد سيراميك
â قرص سيراميك
â لوح سيراميك / كتلة سيراميك
â كرة سيراميك
• مكبس سيراميك
فوهة من السيراميك
بوتقة خزفية
â أجزاء السيراميك المخصصة الأخرى