صينية حاملة الويفر

توفر شركة Semicorex سيراميكًا من فئة أشباه الموصلات لأدوات التصنيع شبه المصنعة الأصلية ومكونات معالجة الرقاقات التي تركز على طبقات كربيد السيليكون في صناعات أشباه الموصلات. لقد كنا الشركة المصنعة والموردة لصينية حاملة الويفر لسنوات عديدة. تتمتع صينية حاملة الويفر الخاصة بنا بميزة سعرية جيدة وتغطي معظم الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

ليس فقط لمراحل ترسيب الأغشية الرقيقة مثل epitaxy أو MOCVD، أو معالجة مناولة الرقاقات، توفر Semicorex حاملًا سيراميكيًا فائق النقاء يستخدم لدعم الرقاقات. في قلب العملية، يتم إخضاع صينية حامل الويفر الخاصة بـ MOCVD لأول مرة لبيئة الترسيب، لذلك فهي تتمتع بمقاومة عالية للحرارة والتآكل. يتميز الناقل المطلي بـ SiC أيضًا بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حرارة ممتازة.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن صينية حاملة الويفر الخاصة بنا.

معلمات صينية نقل الويفر

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		رد فعل متكلس كربيد السيليكون	كربيد السيليكون الملبد بدون ضغط	كربيد السيليكون المعاد بلورته
تعبير		RBSiC	SSIC	آر-سيك
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
قوة العاطفة	ميجا باسكال (كبسي)	338(49)	380(55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة ضاغطة	ميجا باسكال (كبسي)	1120(158)	3970(560)	> 600
صلابة	زر	2700	2800	/
كسر المثابرة	ميجاباسكال م1/2	4.5	4	/
الموصلية الحرارية	ث/م.ك	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-6.1/درجة مئوية	5	4	4.7
حرارة محددة	جول / جم 0 ك	0.8	0.67	/
أقصى درجة حرارة في الهواء	℃	1200	1500	1600
معامل مرن	المعدل التراكمي	360	410	240

الفرق بين SSiC و RBSiC:

1. عملية التلبيد مختلفة. RBSiC هو تسلل Si الحر إلى كربيد السيليكون عند درجة حرارة منخفضة، ويتم تشكيل SSiC عن طريق الانكماش الطبيعي عند 2100 درجة.

2. SSiC لها سطح أكثر سلاسة وكثافة أعلى وقوة أعلى، بالنسبة لبعض موانع التسرب ذات متطلبات السطح الأكثر صرامة، سيكون SSiC أفضل.

3. وقت استخدام مختلف تحت PH ودرجة حرارة مختلفة، SSiC أطول من RBSiC

مميزات صينية حاملة الويفر

- طلاءات كربيد السيليكون CVD لتحسين عمر الخدمة.
- عزل حراري مصنوع من الكربون الصلب المنقى عالي الأداء.
- تتمتع كل من ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- جرافيت عالي النقاء وطلاء SiC لمقاومة الثقب وعمر أطول

الأشكال المتوفرة من سيراميك كربيد السيليكون:

● قضيب سيراميك / دبوس سيراميك / مكبس سيراميك

● أنبوب سيراميك / جلبة سيراميك / غلاف سيراميك

● حلقة سيراميك / غسالة سيراميك / فاصل سيراميك

● قرص سيراميك

● لوح سيراميك / كتلة سيراميك

● كرة سيراميكية

● مكبس سيراميك

● فوهة من السيراميك

● بوتقة السيراميك

● أجزاء أخرى من السيراميك حسب الطلب