مثالية للجيل القادم من الطباعة الحجرية وتطبيقات معالجة الرقاقات، تضمن مكونات السيراميك فائقة النقاء Semicorex الحد الأدنى من التلوث وتوفر أداء طويل الأمد بشكل استثنائي. يتمتع ظرف فراغ الويفر الخاص بنا بميزة سعرية جيدة ويغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
إن ظرف فراغ الويفر الخزفي المسطح للغاية من Semicorex هو عبارة عن طلاء عالي النقاء من SiC يستخدم في عملية معالجة الرقاقة. يتميز ظرف فراغ رقاقة أشباه الموصلات بواسطة معدات MOCVD للنمو المركب بمقاومة عالية للحرارة والتآكل، والتي تتميز بثبات كبير في البيئة القاسية، وتحسين إدارة العائد لمعالجة رقائق أشباه الموصلات. تعمل تكوينات التلامس المنخفض مع السطح على تقليل مخاطر جزيئات الجانب الخلفي للتطبيقات الحساسة.
في Semicorex، نركز على توفير ظرف تفريغ الرقائق عالي الجودة وفعال من حيث التكلفة، ونعطي الأولوية لرضا العملاء ونقدم حلولًا فعالة من حيث التكلفة. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل، ونقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات ظرف فراغ الويفر
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
الهيكل البلوري |
المرحلة FCC β |
|
كثافة |
جم / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
ميكرومتر |
2~10 |
النقاء الكيميائي |
% |
99.99995 |
القدرة الحرارية |
ي كغ-1 ك-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة العطف |
ميجا باسكال (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (انحناء 4pt، 1300 درجة مئوية) |
430 |
التمدد الحراري (C.T.E) |
10-6 ك-1 |
4.5 |
الموصلية الحرارية |
(ث / م ك) |
300 |
مميزات ظرف فراغ الويفر
● قدرات مسطحة للغاية
● تلميع المرآة
● وزن خفيف استثنائي
● صلابة عالية
● التمدد الحراري المنخفض
● Φ 300 ملم القطر وما بعده
● مقاومة التآكل القصوى