حلقات التركيز السيراميكية لأشباه الموصلات

سيراميك سيميكوركسحلقة التركيزتعد حلول أشباه الموصلات من الحلول المثالية المصممة خصيصًا لظروف التشغيل القاسية لحفر البلازما. أثناء عملية النقش المتطورة لأشباه الموصلات، من الضروري التحكم بدقة في توزيع البلازما، مما يضمن استقرار غرفة النقش وتوحيد نقش أشباه الموصلات المتسق. باعتبارها المكونات التي لا غنى عنها المستخدمة في معدات الحفر المتقدمة، يتم وضع حلقات التركيز عادةً حول رقائق أشباه الموصلات وتتصل بها بشكل مباشر. يؤثر أداء حلقات التركيز بشكل مباشر على تكرار العملية وإنتاجية المنتج ووقت تشغيل المعدات.

مزايا حلقات التركيز الخزفية Semicorex لأشباه الموصلات

1. نقاء المواد عالي جدًا

الطهارة لديناالأمراض القلبية الوعائية كربيدالمواد تتجاوز 99.9995%. وهذا يمكن أن يمنع بشكل فعال تلوث غرفة الحفر ورقائق أشباه الموصلات الناتجة عن عدم كفاية نقاء المواد.

2. مقاومة التآكل استثنائية

حلقات التركيز الخزفية Semicorex لأشباه الموصلات مصنوعة من CVD SiC، وتتميز بمقاومة ممتازة للأكسدة والتآكل والتآكل الكيميائي، وتكون فعالة بشكل خاص ضد غازات المعالجة مثل HF وHCI، وكذلك غاز البلازما.

3. أداء مقاومة متفوقة

تجانس المقاومة لحلقات التركيز الخزفية Semicorex لأشباه الموصلات أقل من 5٪.

نطاقات المقاومة: دقة منخفضة. (<0.02 Ω·cm)، دقة متوسطة. (0.2–25 أوم·سم)، دقة عالية. (> 100 أوم · سم).

وظائف حلقات التركيز الخزفية Semicorex لأشباه الموصلات

1. التحكم وتوحيد المجال الكهربائي وتوزيع البلازما

يمكن لحلقات التركيز الخزفية Semicorex لأشباه الموصلات التحكم في توزيع المجال الكهربائي داخل غرفة الحفر وتحقيق غلاف بلازما أكثر اتساقًا حول رقائق أشباه الموصلات، مما يتيح للبلازما الاصطدام بسطح الرقاقة بطريقة عمودية وموحدة. بهذه الطريقة، يمكن تقليل تأثير حافة النقش بشكل كبير ويمكن تحسين دقة النقش بشكل كبير.

2. حماية تشاك كهرباء

بدون حماية حلقات التركيز أثناء عملية النقش، سيتعرض ظرف الظرف الكهروستاتيكي لقصف وتآكل البلازما عالية الطاقة. يتم تصنيع الطبطبات الكهروستاتيكية من مواد عالية التكلفة مع تكلفة استبدال عالية للغاية. يمكن أن يؤدي استخدام حلقات التركيز إلى تقليل تآكل البلازما على ظرف الظرف الكهروستاتيكي بشكل فعال وتقليل تكاليف الصيانة والاستبدال لظرف الظرف الكهروستاتيكي.