رأس دش مطلي بالجرافيت CVD SiC

في جهاز البلازما للحفر وترسيب البخار الكيميائي (CVD) للمواد الموجودة على الرقاقات، يتم إمداد غازات المعالجة إلى غرفة المعالجة من خلال رأس دش مطلي بالجرافيت CVD SiC. تلتزم Semicorex بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

إرسال استفسار

وصف المنتج

رأس الدش Semicorex CVD SiC (كربيد السيليكون لترسيب البخار الكيميائي) هو مكون متخصص يستخدم في العمليات الصناعية المختلفة، مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD). إنه يلعب دورًا حاسمًا في توصيل الغازات الأولية أو الأنواع التفاعلية إلى سطح الركيزة أثناء عمليات الترسيب هذه.

رأس الدش المطلي بالجرافيت CVD SiC مصنوع من الجرافيت عالي النقاء ومغطى بطبقة رقيقة من SiC بطريقة CVD. يجمع رأس الدش المطلي بالجرافيت CVD SiC بين الخصائص المفيدة للجرافيت وSiC، مما يجعله مكونًا أساسيًا في عمليات الترسيب المختلفة حيث يلزم توزيع دقيق وموحد للغاز، إلى جانب مقاومة درجات الحرارة العالية والبيئات الكيميائية.

سمات:

المقاومة الكيميائية

الاستقرار الحراري

سطح أملس وموحد

انخفاض التلوث