رأس دش سيك

يعد رأس الدش Semicorex SiC مكونًا أساسيًا في عملية النمو الفوقي، وهو مصمم خصيصًا لتعزيز توحيد وكفاءة ترسيب الأغشية الرقيقة على رقائق أشباه الموصلات. رأس الدش SiC مصنوع من كربيد السيليكون السائب (SiC). يشتهر رأس الدش SiC هذا بالتوصيل الحراري الاستثنائي والقوة الميكانيكية والمقاومة الكيميائية، ويضمن الأداء الأمثل في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل النموذجية للمفاعلات الفوقي.

تم تصميم شكل رأس الدش لرأس الدش SiC بدقة لتسهيل التوزيع المتساوي للغازات الأولية على سطح الرقاقة. تتيح مجموعة الثقوب المحفورة بدقة تدفقًا ثابتًا ومتحكمًا فيه، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق طبقات فوقية عالية الجودة ذات سماكة وتركيبة موحدة. يقلل هذا التصميم من تفاعلات الطور الغازي وتوليد الجسيمات، مما يساهم في إنتاجية فائقة من الرقاقات وأداء الجهاز.

يُعد رأس الدش SiC مثاليًا للاستخدام في كل من إعدادات البحث والإنتاج بكميات كبيرة، حيث يتميز بمتانته وموثوقيته، مما يقلل بشكل كبير من وقت توقف الصيانة وتكاليف التشغيل. إن توافقه مع العمليات الفوقية المختلفة، بما في ذلك ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، يجعله أصلًا متعدد الاستخدامات ولا يقدر بثمن في صناعة تصنيع أشباه الموصلات.