أنبوب فرن الانتشار

عادةً ما يتم تصنيع أنبوب فرن الانتشار من الكوارتز عالي النقاء أو SiC، وكلاهما يظهر ثباتًا حراريًا استثنائيًا ومقاومة للتفاعلات الكيميائية. وهذا أمر مهم لأن أنبوب فرن الانتشار يجب ألا يدخل الشوائب إلى مواد أشباه الموصلات التي تتم معالجتها. حتى أدنى الشوائب يمكن أن يكون لها آثار ضارة كبيرة على أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات المصنعة.

يتم اختيار المواد المستخدمة في بناء أنبوب فرن الانتشار لنقاوتها العالية لمنع تلوث رقائق أشباه الموصلات أثناء المعالجة. يتحمل أنبوب فرن الانتشار درجات الحرارة القصوى التي يتم مواجهتها أثناء معالجة أشباه الموصلات دون تشويه أو المساس بسلامته الهيكلية. وهذا يضمن أداءً ثابتًا وموثوقًا خلال فترات التشغيل الطويلة. بالإضافة إلى الاستقرار الحراري، يُظهر أنبوب فرن الانتشار أيضًا مقاومة للتأثيرات المسببة للتآكل للمواد الكيميائية والغازات المستخدمة في معالجة أشباه الموصلات. وهذا يمنع تدهور الأنبوب بمرور الوقت ويضمن طول العمر.

قد تحتوي بعض أنابيب أفران الانتشار على بطانات مصنوعة من مواد متخصصة لزيادة تحسين أدائها أو توفير حماية إضافية ضد التلوث أو التفاعلات الكيميائية. يتم اختيار هذه البطانات بعناية لتكمل خصائص مادة الأنبوب والمتطلبات المحددة لعملية تصنيع أشباه الموصلات.