حلقات الحافة

تعد حلقات Semicorex Edge جزءًا مهمًا من عملية تصنيع أشباه الموصلات الكاملة ، وخاصة لتطبيقات معالجة الرقاقة بما في ذلك حفر البلازما وترسب البخار الكيميائي (CVD). تم تصميم حلقات الحافة لتطويق المحيط الخارجي لرقاق أشباه الموصلات من أجل توزيع الطاقة بشكل موحد مع تحسين استقرار العملية وعائد الرقاقة وموثوقية الجهاز. حلقات الحافة لدينا مصنوعة من كربيد السيليكون للبخار الكيميائي عالي النقاء (CVD SIC) وهي مصممة لبيئات العمليات المتطلبة.

تنشأ المشكلات أثناء العمليات القائمة على البلازما ، حيث يخلق عدم توحيد الطاقة وتشويه البلازما على حافة الرقاقة خطرًا للعيوب أو انجراف العملية أو فقدان العائد. تقلل حلقات الحافة من هذا الخطر من خلال تركيز وتشكيل مجال الطاقة حول المحيط الخارجي للرقاقة. تجلس حلقات الحافة خارج الحافة الخارجية للرقاقة وتكون بمثابة حواجز للعملية وأدلة الطاقة التي تقلل من تأثيرات الحافة ، وتحمي حافة الرقاقة من الإفراط في الحفر ، وتقديم توحيد إضافي أساسي عبر سطح الرقاقة.

الفوائد المادية من CVD SIC:

يتم تصنيع حلقات الحافة لدينا من CVD SIC عالية النقاء ، والتي تم تصميمها بشكل فريد وهندسة لبيئات العمليات القاسية. تتميز CVD SIC بالتوصيل الحراري الاستثنائي ، والقوة الميكانيكية العالية ، والمقاومة الكيميائية الممتازة - جميع السمات التي تجعل الأمراض القلبية الدماغية هي المادة المفضلة لتطبيقات أشباه الموصلات التي تتطلب المتانة والاستقرار وانخفاض مشكلات التلوث.

نقاء عالية: CVD SIC لديه شوائب شبه صفر مما يعني أنه لن يكون هناك القليل من الجزيئات التي يتم إنشاؤها ولا تلوث معدني أمر حيوي في أشباه الموصلات العقدية المتقدمة.

الاستقرار الحراري: تحافظ المادة على الاستقرار الأبعاد في درجات حرارة مرتفعة ، وهو أمر بالغ الأهمية لوضع رقاقة مناسب في موضع البلازما.

الامتداد الكيميائي: من الخامل أن تتآكل الغازات مثل تلك التي تحتوي على الفلور أو الكلور والتي يتم استخدامها بشكل شائع في بيئة حفر البلازما وكذلك عمليات الأمراض القلبية الوعائية.

القوة الميكانيكية: يمكن أن تصمد CVD SIC على تحمل التكسير والتآكل خلال الفترات الزمنية للدورة الممتدة لضمان أقصى قدر من الحياة وتقليل تكاليف الصيانة.

تم تصميم كل حلقة حافة مخصصة لاستيعاب الأبعاد الهندسية لغرفة العملية وحجم الرقاقة ؛ عادة 200 مم أو 300 مم. يتم أخذ تحمل التصميم بإحكام للغاية لضمان استخدام حلقة الحافة في وحدة العملية الحالية دون الحاجة إلى التعديل. تتوفر الأشكال الهندسية المخصصة والتشطيبات السطحية لتلبية متطلبات OEM الفريدة أو تكوينات الأدوات.