تم تصميم مستشعر الجرافيت Semicorex خصيصًا لمعدات epitaxy ذات الحرارة العالية ومقاومة التآكل في الصين. تتمتع مستشعرات الركيزة GaN-on-SiC الخاصة بنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
يجب أن تتحمل ناقلات الرقائق الركيزة GaN-on-SiC المستخدمة في مراحل ترسيب الأغشية الرقيقة أو معالجة مناولة الرقائق درجات حرارة عالية وتنظيف كيميائي قاسي. توفر Semicorex مستشعرات الركيزة GaN-on-SiC المطلية بـ SiC عالية النقاء مقاومة فائقة للحرارة ، وحتى التوحيد الحراري من أجل سماكة ومقاومة طبقة epi متسقة ، ومقاومة كيميائية متينة. يوفر الطلاء الكريستالي الناعم SiC سطحًا نظيفًا وسلسًا ، وهو أمر بالغ الأهمية في التعامل معه حيث أن الرقاقات الأصلية تتصل بالمستقبل في العديد من النقاط عبر المنطقة بأكملها.
في Semicorex ، نركز على تقديم منتجات عالية الجودة وفعالة من حيث التكلفة لعملائنا. يتمتع مستشعر الركيزة GaN-on-SiC الخاص بنا بميزة سعرية ويتم تصديره إلى العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نهدف إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل ، حيث نقدم منتجات عالية الجودة وخدمة عملاء استثنائية.
معلمات متحسس الركيزة GaN-on-SiC
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ميزات متحسس الركيزة GaN-on-SiC
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.