SiC Epi-Wafer Susceptor

توفر Semicorex مادة SiC Epi-Wafer Susceptor المغلفة بـ MOCVD المستخدمة لدعم الرقاقات. يوفر هيكل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون عالي النقاء (SiC) مقاومة فائقة للحرارة ، وحتى التوحيد الحراري لسمك ومقاومة طبقة epi المتسقة ، ومقاومة كيميائية دائمة. يوفر الطلاء الكريستالي الناعم SiC سطحًا نظيفًا وسلسًا ، وهو أمر بالغ الأهمية في التعامل معه حيث أن الرقاقات الأصلية تتصل بالمستقبل في العديد من النقاط عبر المنطقة بأكملها.
تم تصميم مستشعر SiC Epi-Wafer Susceptor لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن جهاز SiC Epi-Wafer Susceptor.

معلمات SiC Epi-Wafer Susceptor

ميزات SiC Epi-Wafer Susceptor

الجرافيت المطلي كربيد كربيد عالي النقاء
مقاومة فائقة للحرارة وتوحيد حراري
بلور SiC ناعم مطلي لسطح أملس
متانة عالية ضد التنظيف الكيميائي
تم تصميم المواد بحيث لا تحدث التشققات والتفريغ.