Semicorex عبارة عن مصنع ومورد واسع النطاق لـ Silicon Carbide Epitaxy Susceptor في الصين. نحن نركز على صناعات أشباه الموصلات مثل طبقات كربيد السيليكون وأشباه الموصلات epitaxy. تتمتع منتجاتنا بميزة سعرية جيدة وتغطي العديد من الأسواق الأوروبية والأمريكية. نحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.
تقدم Semicorex خدمات عملية طلاء SiC بطريقة CVD على سطح الجرافيت والسيراميك والمواد الأخرى ، مثل Silicon Carbide Epitaxy Susceptor ، بحيث تتفاعل الغازات الخاصة التي تحتوي على الكربون والسيليكون عند درجة حرارة عالية للحصول على جزيئات SiC عالية النقاء ، والجزيئات المودعة على سطح المواد المطلية ، وتشكيل طبقة واقية SIC. يرتبط SIC المتكون بقوة بقاعدة الجرافيت ، مما يعطي خصائص خاصة لقاعدة الجرافيت ، مما يجعل سطح الجرافيت مضغوطًا وخالي من المسامية ومقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة الأكسدة.
تم تصميم مستشعرات Epitaxy Susceptor من كربيد السيليكون لتحقيق أفضل نمط لتدفق الغاز الرقائقي ، مما يضمن توازن المظهر الحراري. هذا يساعد على منع أي تلوث أو انتشار للشوائب ، مما يضمن نمو فائق الجودة على رقاقة الويفر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن مادة كربيد السيليكون Epitaxy Susceptor.
معلمات من كربيد السيليكون Epitaxy Susceptor
المواصفات الرئيسية لطلاء CVD-SIC |
||
خصائص SiC-CVD |
||
هيكل بلوري |
مرحلة FCC β |
|
كثافة |
ز / سم ³ |
3.21 |
صلابة |
صلابة فيكرز |
2500 |
حجم الحبوب |
μ م |
2 ~ 10 |
نقاء كيميائي |
% |
99.99995 |
السعة الحرارية |
J · kg-1 · K-1 |
640 |
درجة حرارة التسامي |
℃ |
2700 |
قوة فيليكسورال |
MPa (RT 4 نقاط) |
415 |
معامل يونغ |
المعدل التراكمي (منحنى 4 نقاط ، 1300 درجة) |
430 |
التمدد الحراري (CTE) |
10-6 ك -1 |
4.5 |
توصيل حراري |
(ث / م ك) |
300 |
ملامح من كربيد السيليكون Epitaxy Susceptor
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بكثافة جيدة ويمكن أن تلعب دورًا وقائيًا جيدًا في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.
- المستقبِل المطلي بكربيد السيليكون المستخدم لنمو بلورة مفردة له تسطيح سطح مرتفع جدًا.
- تقليل الاختلاف في معامل التمدد الحراري بين ركيزة الجرافيت وطبقة كربيد السيليكون ، وتحسين قوة الترابط بشكل فعال لمنع التكسير والتفكيك.
- تتمتع كل من طبقة الجرافيت الأساسية وطبقة كربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص ممتازة لتوزيع الحرارة.
- نقطة انصهار عالية ، مقاومة أكسدة عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل.