حلقات بولي سي الخارجية للنقش

يتم وضعه عادة حولرأس الدشتعمل الحلقة الخارجية Poly-Si بمثابة الجزء المتصل بين حلقة العادم ورأس الدش. يعمل بشكل تعاوني معتشاك كهرباء، ورأس الدش Si، وحلقة التركيز Si، وحلقة عادم Si، وحلقة التدريع Si، مما يخلق بيئة عملية ثابتة وموثوقة لعملية الحفر عالية الدقة.

مزايا الحلقات الخارجية Semicorex poly-Si للنقش

يتم تصنيع الحلقات الخارجية Semicorex poly-Si للحفر بدقة من مادة البولي سيليكون عالية الجودة، مما يوفر أداء الخصائص الممتاز التالي.

1. نظافة عالية ومحتوى جسيمات منخفض

2. مقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة الصدمات الحرارية العالية

3. مقاومة التآكل يمكن الاعتماد عليها

4. أداء كهربائي استثنائي وتوحيد التوصيل الكهربائي العالي

وظائف الحلقات الخارجية Semicorex poly-Si للنقش

1. أداء التأريض المستقر

تستخدم حلقات Semicorex poly-Si الخارجية للحفر، المستخدمة لتأريض وحماية القطب الكهربائي، قادرة على تجنب التراكم الساكن بالإضافة إلى تلف القوس وضمان التشغيل المستقر لنظام القطب الكهربائي، مما يلبي بشكل مثالي متطلبات العملية لتصنيع NAND ثلاثي الأبعاد المتقدم.

2. دعم موثوق

تعمل الحلقات الخارجية Semicorex poly-Si للحفر كمكونات أساسية تربط حلقة العادم ورأس الدش. إنها توفر دعمًا ميكانيكيًا موثوقًا لكلا الجزأين وتبقيهما في وضع ثابت في المكان المناسب. بالإضافة إلى ذلك، فإن استخدام حلقات Semicorex poly-Si الخارجية للحفر يمكن أن يمنع تآكل البلازما في غرفة النقش، مما يضمن بشكل فعال التنفيذ المستقر لعملية النقش.

3. التوافق مع عملية النقش

تتميز حلقات Semicorex poly-Si الخارجية للحفر بمحتوى شوائب منخفض ومقاومة استثنائية للتآكل، مما يوفر توافقًا ممتازًا مع تصنيع رقائق السيليكون، مما يقلل بشكل كبير من عيوب الرقاقة الناتجة عن تلوث المنتجات الثانوية المحفورة ويضمن بشكل كبير معدل إنتاجية مرتفع في إنتاج أشباه الموصلات.