حاقن السيليكون

يعتبر Semicorex Silicon Injector مكونًا عالي النقاء مصمم للتوصيل الدقيق للغاز في أنظمة ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) لترسيب البولي سيليكون والأغشية الرقيقة. مصنوع من 9N (99.9999999%)سيليكون عالي النقاءيوفر هذا الحاقن الأنبوبي الدقيق نظافة فائقة وتوافقًا مع المواد الكيميائية وثباتًا حراريًا في ظروف العملية القاسية.

ومع استمرار تطور تصنيع أشباه الموصلات إلى مستويات أعلى من التكامل والتحكم الأكثر صرامة في التلوث، سيُطلب أيضًا من كل مكون توصيل الغاز في غرفة الترسيب تلبية معايير أعلى من ذي قبل. لقد تم تطوير حاقن Semicorex Silicon خصيصًا لهذه الأنواع من المتطلبات - حيث يقوم بتوصيل المواد الغازية بطريقة مستقرة وموحدة في جميع أنحاء غرفة التفاعل دون إدخال أي تلوث من شأنه أن يؤثر سلبًا على جودة الفيلم أو إنتاج الرقاقة.

يتم تصنيع الحاقن من السيليكون أحادي البلورات أو متعدد البلورات اعتمادًا على متطلبات العملية، وتم تصميم المادة لتكون منخفضة الشوائب المعدنية والجسيمية والأيونية. وهذا يوفر التوافق مع ظروف LPCVD فائقة النظافة، حيث يمكن حتى لآثار التلوث أن تؤدي إلى حدوث خلل في الفيلم أو فشل الجهاز. كما أن استخدام السيليكون كمادة أساسية يقلل أيضًا من عدم تطابق المواد بين مكونات الحاقن والسيليكون في الغرفة، مما يقلل بشكل كبير من مخاطر توليد الجسيمات أو التفاعلات الكيميائية أثناء الاستخدام والتشغيل في درجات الحرارة العالية.

يسمح الهيكل الأنبوبي المخصص لحاقن السيليكون بتوزيع الغاز بشكل متساوٍ ومتحكم فيه على حمولة موحدة من الرقائق. تضمن الفتحات ذات الهندسة الدقيقة والسطح الداخلي الأملس معدلات تدفق قابلة للتكرار جنبًا إلى جنب مع ديناميكيات الغاز الصفائحي التي تعتبر بالغة الأهمية لسماكة الفيلم المتسقة ومعدلات الترسيب المستقرة في الفرن. سواء كان سيلان (SiH₄)، أو ثنائي كلوروسيلان (SiH₂Cl₂)، أو غازات تفاعلية أخرى، فإن الحاقن يوفر أداءً يمكن الاعتماد عليه ودقة مطلوبة لنمو طبقة البولي سيليكون ذات الجودة الجيدة.

نظرًا للثبات الحراري الممتاز، يمكن لحاقن السيليكون Semicorex أن يتحمل درجات حرارة تصل إلى 1250 درجة مئوية ويمكن التحكم فيه دون خوف من التشوه أو التشقق أو الالتواء خلال دورات متعددة من LPCVD ذو درجة الحرارة العالية. بالإضافة إلى ذلك، فإن مقاومتها العالية للأكسدة والخمول الكيميائي توفر فترات تشغيل طويلة أثناء وجودها في جو مؤكسد أو مختزل أو مسبب للتآكل مع تقليل الصيانة وخلق استقرار العملية.

يتم تصنيع كل حاقن باستخدام أحدث الآلات والتلميع باستخدام الحاسب الآلي، مما يحقق تفاوتات الأبعاد دون الميكرون والتشطيبات فائقة النعومة على السطح. يعمل تشطيب السطح عالي الجودة على تقليل اضطراب الغاز، مما يؤدي إلى إنشاء عدد قليل جدًا من الجزيئات أو عدم وجود جزيئات مع ضمان خصائص التدفق المتسقة عبر التغيرات الحرارية والضغط غير المتسقة. يضمن التصنيع الدقيق عمليات يتم التحكم فيها بإحكام، واستنساخ نتائج موثوقة، وبالتالي أداء ثابت للمعدات.

Leverantörer, tillverkare av impregnerad grafitdegel i Kina - Avancerad kundanpassad impregnerad grafitdegel - Semicorexمكونات السيليكون.

يوفر حاقن السيليكون Semicorex الدقة والنقاء المطلوبين في تصنيع أشباه الموصلات اليوم. يوفر دمج السيليكون عالي النقاء 9N ودقة التصنيع على مستوى الميكرون والثبات الحراري والكيميائي العالي توزيعًا موحدًا للغاز وتوليدًا أقل للجسيمات وموثوقية استثنائية عند ترسيب البولي سيليكون LPCVD.